Lufttank
Oct 12, 2023| Lufttank
Den lille diffusjonspumpens høyvakuumpumpegruppe er vanligvis konfigurert med en gasstank, som er anordnet mellom diffusjonspumpen og frontpumpen for å lagre gassen som slippes ut av diffusjonspumpen. Årsakene til å stille inn bensintanken er:
1) Behovet for støtbeskyttelse av systemet
Når vakuumsystemet fungerer, krever noen prosesser streng støtmotstand, så den tidligere mekaniske vakuumpumpen må slutte å fungere i en periode når vakuumkammeret er i fungerende tilstand. I løpet av denne tiden blir gassen som slippes ut av diffusjonspumpen lagret i gasstanken, og gasstanken brukes til å erstatte den mekaniske pumpen for å opprettholde normal drift av diffusjonspumpen.
2) For å forkorte arbeidssyklusen
Noen produksjonsprosesser krever at vakuumkammeret settes ut i atmosfæren i bytte mot komponenter og lading uten å lukke diffusjonspumpevarmeren. Den fremre pumpen på vakuumenheten brukes som forpumpepumpe. Etter lasting forpumpes vakuumkammeret med en mekanisk pumpe, og gasstanken brukes i løpet av denne tiden for å vedlikeholde diffusjonspumpen (som frontpumpe).
3) For å forhindre at en stor mengde øyeblikkelig gassutslipp i vakuumkammeret påvirker normal drift av diffusjonspumpen
I vakuumprosessproduksjonen er eksosvolumet spesielt stort i en viss tidsperiode, men tiden er kort. Hvis det ikke er økonomisk å konfigurere den mekaniske pumpen i henhold til maksimalt eksosvolum på dette tidspunktet, kan forstadiets lagertank konfigureres i systemet på dette tidspunktet for å lagre en del av gassen ved maksimalt eksosvolum for å unngå fortrinnstrykket til diffusjonspumpen som overstiger det maksimale reverstrykket.
4) Brukes til å stabilisere diffusjonspumpens utløpstrykk
Siden eksosen fra den mekaniske vakuumpumpen er pulsert, selv om frekvensen ikke er høy (vanligvis ca. 7 ganger/s), vil det også forårsake svingninger i utløpstrykket til diffusjonspumpen, og innstillingen av bensintanken kan redusere slike. svingninger.
IKS PVD-selskap, dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, DLC-beleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD-vakuumbeleggingslinje, nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e-post: iks.pvd@foxmail.com