Grunnleggende komponenter av verktøybelegningsutstyr

Moderne vakuumbelegningsutstyr (uniform varmekraft, temperaturmålingsteknologi, ubalansert magnetronsputteringsteknologi, hjelpanodeteknologi, mellomfrekvensstrømforsyning, pulsteknologi) består hovedsakelig av vakuumkammer, vakuumpumpe, vakuummåling, strømforsyningsdel, prosess gass inngangssystem, mekanisk transmisjon del, varme og temperatur måling del, ion fordampning eller sputtering kilde, vannkjølesystem og andre deler.

1. Vakuumkammer

Coating utstyr hovedsakelig delt inn i kontinuerlig belegg produksjonslinje og enkeltkammer belegg maskin. På grunn av de høye kravene til støpeformene og verktøybelegget på varme- og mekaniske overføringsdelene, så vel som den store forskjellen i formen og størrelsen på formen, er kontinuerlig beleggproduksjonslinjen vanligvis vanskelig å oppfylle kravet og enkammerbeleggeren er alltid brukt.

2. Vakuumpumpesystem

I vakuumteknologien er vakuumpumpesystemet en viktig del. På grunn av de høye adhesjonskravene til støpeformer og verktøybelegg, krever beleggingsprosessen et godt bakgrunnsvakuum, så et rimelig utvalg av vakuumpumpesystemet av utstyr er avgjørende for å oppnå en høyvakuumgrad. For tiden er det ingen pumpe som kan operere fra atmosfærisk trykk til det nærmer seg ultrahøyt vakuum. Derfor er det gode vakuumet ikke oppnåelig ved enkeltvakuumutstyr eller -metoder. Flere pumper må brukes i kombinasjon, for eksempel mekanisk pumpsystem, molekylære pumpsystemer og så videre.

3. Vakuummålesystem

Vakuummålingsdelen av vakuumsystemet brukes til å måle trykket i vakuumkammeret. Som vakuumpumpe er det ingen vakuummåler som kan måle hele vakuumområdet. Så mange typer vakuummålere produseres i henhold til forskjellige prinsipper og krav.

4. Strømforsyningssystem

Målforsyningen omfatter hovedsakelig likestrømforsyning (for eksempel MDX) og mellomfrekvensforsyning (for eksempel PE, PEII og PINACAL fra American AE Company). Arbeidsstykket i seg selv må vanligvis leveres med likestrøm (som MDX), pulserende strømforsyning (som PINACAL + som produseres av American AE Company), eller RF-strømforsyning (RF).

5. Prosessgassinngangssystem

Prosessgasser, for eksempel argon (Ar), helium (Kr), nitrogen (N2), acetylen (C2H2), metan (CH4), hydrogen (H2) og oksygen (O2) leveres generelt av gassflasker. De innløser vakuumkammeret gjennom gass-trykkreduserende ventil, gassavstengningsventil, rørledning, gasstrømningsmåler, magnetventil, piezoelektrisk ventil. Fordelen ved denne typen gassinngangssystem er at rørene er enkle og klare, og det er lett å reparere eller erstatte sylinderen. Også hver beleggingsmaskin påvirker ikke hverandre. Dessuten er det også tilfeller hvor flere coatere deler en gruppe sylindere, som finnes i noen av de større beleggbutikker, fordelene er at det reduserer forbruket av gassflasker, og gjør enhetlig planlegging og utforming. Ulempen er at sjansen for lekkasje øker på grunn av mange ledd. Videre vil beleggingsmaskinene forstyrre hverandre, og luftlekkasje av et beleggingsrør kan påvirke produktkvaliteten til andre beleggingsmaskiner. I tillegg må det sikres at alle hovedrammer er i ikke-brukstilstand når de slukkes.

6. Mekanisk transmisjonssystem

Verktøybelegget krever at filmen må være jevn tykk. Derfor må det være tre rotasjoner i beleggingsprosessen for å oppfylle kravene. Det vil si at mens et stort arbeidsstykkbord roterer kjører, roterer et lite arbeidsstykkebord også, og arbeidsstykket selv kan rotere samtidig. I den mekaniske konstruksjonen er det generelt et stort kjøreutstyr i midten av bunnen av den store arbeidsstykkeskiven, omgitt av noen små stjernehjul for å feste det, og bruk deretter skiftgaffelen for å dreie arbeidsstykket for å rotere. Selvfølgelig, når du lager malingsbelegg, er det vanligvis to rotasjoner nok, men girets lastkapasitet må forbedres betydelig.

7. Oppvarmings- og temperaturmålesystem

Når du lager støpebelegget, er det viktigere å sikre en jevn oppvarming av arbeidsstykket enn i dekorative beleggprosesser. Muggbelegningsutstyret har generelt to varmeelementer foran og bak, og termoelementet brukes til å måle og styre temperaturen. På grunn av de forskjellige klemmepunktene i termoelementet, kan temperaturavlesningen imidlertid ikke være den virkelige temperaturen til arbeidsstykket. Det er mange måter å måle den virkelige temperaturen på arbeidsemnet på. Her er en brukervennlig overflatetermometer. Arbeidsprinsippet til dette termometeret er at når termometeret blir oppvarmet, vil fjæren på bunnen oppvarmes for å utvide, slik at pekeren vil skyve posisjoneringspekeren for å rotere til maksimal temperatur. Når temperaturen er redusert, krymper fjæren og pekeren roterer i motsatt retning, men posisjoneringspekeren forblir på høyeste temperaturposisjon. Etter at døren er åpnet, leses temperaturen indikert av posisjoneringspekeren, det vil si den høyeste temperaturen som overflatetermometeret har nådd når det oppvarmes i vakuumkammeret.

8. Ion Fordampning og Sputtering Kilder

Fordampningskilden for flerbueplettering er generelt rund, kjent som rundmål. I de senere år har rektangulær multibue-mål også vist seg, men ingen åpenbar effekt har blitt observert. Det runde målet er montert på kobbermålholderen (katodeholderen) og de to er skrudd sammen. Det er magnet i målholderen, og magnetfeltstyrken kan endres ved å flytte magneten frem og tilbake, og også bevegelseshastigheten og sporet av bueflekken kan også justeres på denne måten. For å redusere temperaturen til målet og målholderen, tilføres kjølevann kontinuerlig til målholderen. Og for å sikre høy elektrisk og termisk ledningsevne mellom målet og målholderen, kan tin (Sn) pakningen også legges mellom mål og målholder. Dessuten bruker magnetron sputtering belegg generelt rektangulære eller sylindriske mål.

9. Vannkjølesystem

For støpebelegget, for å øke forstøvningshastigheten av metallatomer, vedtar hver katodemålholder fri kraft så mye som mulig, hvilket krever tilstrekkelig avkjøling. I tillegg er oppvarmingstemperaturen på mange typer verktøy og muggbelegg 400-500 ° C. Derfor er kjøling av vakuumkammerveggen og hver tetningsoverflate også meget viktig, så kjølevann leveres fortrinnsvis fra en kjøler på 18 til 20 ° C. For å hindre at vakuumkammerets vegger og katodemål oppløser vann ved kontakt med varm luft etter at døren er åpnet, bør vannkjølesystemet kunne bytte til varmtvannsforsyningstilstanden ca. 10 minutter før døren åpnes. Varmtemperaturen er ca. 40 ~ 45 ° C.