Grunnleggende trinn av vakuum PVD belegg prosess
Apr 11, 2018| Forbehandling prosess
Dekoating, sprengning, polering, passivating, rengjøring, klemming
Coating prosess
Evakuering, oppvarming, lekkasjetest, bombardementrengjøring, belegging, utkjøling
Etterbehandling
1. Rengjøring: Kontroller at overflaten av produktet før belegget er rent, renere overflaten, jo bedre beleggkvaliteten kan garanteres.
2. Evakuering: Evakuert gjenværende gass fra vakuumkammeret.
3. Oppvarming: Ovnen og arbeidsstykket oppvarmes samtidig for å akselerere frigjøringen av gjenværende gass.
4. Spenningsstigningstest: Gasslekkasje og gassfrigøringshastighet for testovnen.
5. Rengjøring av bombardement: Fjern urenheter fra arbeidsstykkets overflate for å utsette den rene overflaten.
6. Belegg: Deponert film.
7. Kjøling: Unngå oksidasjon og misfarging av arbeidsstykket.
Hvorfor kjøle det?
Etter at beleggingsprosessen er fullført, er temperaturen i vakuumkammeret opp til 500 ° C. Hvis det evakueres uten avkjøling, vil overflaten på høytemperatur arbeidsstykket som ikke er belagt bli blå på grunn av reaksjonen med luften.
Hvordan kjøling?
1. For å lukke høyventilen og vakuummåleren, og vakuumkammeret er skilt fra pumpegruppen.
2. Når operatøren trykker på N 2- ventilasjonsknappen, fylles det forhåndstilkoblede nitrogenet i vakuumkammeret gjennom N 2- inflasjonsventilen, og når trykket i vakuumkammeret når trykket i N 2 inflasjonsventilen er lukket.
3. Vakuumkammeret er fylt med en stor mengde N2, og vakuumgraden er svært lav, noe som bidrar til varmeledning. Det kan forkorte kjøletiden og øke produksjonseffektiviteten, og den faktiske kjøletiden kan reduseres fra 90 minutter til 60 minutter.
4. Fordi helium har høyere termisk ledningsevne, er kjøling av helium raskere enn nitrogen, men kostnaden er høyere.
5. Det raske kjøleprogrammet for utenlandsk utstyr kan forkorte kjøletiden med 50% ved å kjøle gassens kjølesyklus.
Årsakene til trykkstigningsprøven
Vakuummiljø er den viktigste faktoren som påvirker den endelige beleggkvaliteten. Før belegget må trykkstigningshastigheten utføres for å sikre at vakuummiljøforholdene oppfyller belegningsstandarden.