Karakterisering av vakuumgrad, enhet og oppdeling av vakuumområde

Karakterisering av vakuumgrad, enhet og oppdeling av vakuumområde

IKS PVD, vi er produksjon av PVD vakuum belegg utstyr, kontakt med oss nå, iks.pvd @ foxmail.come

Det er ikke veldig rimelig å bruke trykk for å representere vakuumgrad, som har blitt brukt i historien til måling av vakuum ved u-type manometer.

Generelt vakuumsystem brukes vanligvis den hydrostatiske fysiske mengde isotropisk nøytralt gasstrykk for å uttrykke vakuumgraden. Derfor kommer måling av vakuumgrad bare ned til måling av trykk. Imidlertid må det tas særlig hensyn til måleforholdene, som er den stasjonære (tilfeldige bevegelsen), steady state og isotropisk enkelt nøytral gass i en endelig beholder. I dette tilfellet er makswell hastighetsfordeling, cosinus spredning lov og hydrostatisk trykk konsept (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = ρ gh) relativt konsistent med objektiv virkelighet, vakuum grad måling er relativt enkel og enkel.

Ifølge definisjonen av vakuumgrad er det bedre å uttrykke vakuumgraden ved molekylær tetthet n, og det er ikke motstridende å uttrykke vakuumgraden ved trykk. Når trykk måles, er gassen generelt i en likevektstilstand og tilfredsstiller maxwells hastighetsfordelingsloven, det vil si p = nkT er sant. Temperaturen til gassen er konstant ved målingen, slik at trykket av gassen p er proporsjonalt med molekylært tetthet n. Med andre ord, trykket er et mål for molekylær tetthet, slik at vakuumet kan uttrykkes som trykk.

I romforskning er forskningsobjektet bevegelsen til det uendelige rom (1 ~ 10 KMS - 1 eller høyere) og under virkningen av komplisert ustabil, integrert miljøatmosfære, gir Max Speed-distribusjonsloven og cosinus spredningsloven ikke nødvendigvis også mistet den opprinnelige fysiske meningen, så trykket i vakuummåling er mer komplekst og vanskelig.

Generelt er det populært og pleide å uttrykke vakuumgrad ved trykk, men det er ikke det eneste. Følgende parametere kan også brukes til å uttrykke vakuumgrad:

Når vakuumgraden er veldig høy, det vil si når molekylær tetthet er svært liten, er den statistiske fluktuasjonen veldig åpenbar. For eksempel, når trykket p = 10-12pa, er den statistiske fluktuasjonen større enn 5 ganger 10-2, og trykket har mistet sin reelle betydning. I noen tilfeller er trykket bare en relativ indikator for andre mengder .

1. Spørsmål og svar

Vakuum enheter?

Trykket av en gass definert ved kollisjonen av et gassmolekyl på en overflate er hastigheten av tidsendring av den vertikale komponenten av momentum i et gassmolekyl som kolliderer med en enhet overflateareal, det vil si den kraft som mottas per arealareal i Pascal eller Pa.

1 pa = 1 Nm - 2

I engineering, noen ganger er verdien av pa for liten, kPa og MPa brukes ofte til å uttrykke trykk. Lavvakuum, noen ganger uttrykt som "vakuumprosent", som for eksempel vannringvakuumpumpe, gjentakende vakuumpumpe og vakuumpumpe med direkte luftrør, uttrykkes ofte i denne vakuumenheten. Når trykket p> 102Pa er vakuumprosent delta.

Hvor: p0 - standard atmosfærisk trykk, Pa

Vakuumzonering

Med en enhet for måling av vakuumgraden kan vakuumgraden uttrykkes kvantitativt. Imidlertid har trykkområdet som er involvert i vakuumteknologi nått 20 størrelsesordener for å lette bruken, noen ganger er det bare nødvendig å grove peke på det generelle området vakuumgrad, vanligvis kvalitativt fordelt i flere regioner omtrent vakuum . De fysiske egenskapene til gassmolekylær bevegelse i vakuumtilstand og det effektive arbeidsområdet for vakuumpumpe og vakuummåler vurderes som basis for delingen av regioner.

Når det gjelder divisjonen av vakuumområder i Kina, stilles vilkårene for vakuumteknologi (gb3163-1982) som følger:

Grovt vakuum, lavvakuum og høyvakuum er delt i henhold til gjennomsnittlig fri bane for gassmolekyler sammenlignet med beholderens karakteristiske størrelse d. Hovedvekten er om kollisjonen mellom gassmolekylene eller kollisjonen mellom gassmolekyler og enhetens vegger spiller en avgjørende rolle i forekomsten av fysiske fenomener.

Grensen mellom høyvakuum og ultrahøyt vakuum er satt som 10-6Pa. Hovedårsaken er å vurdere vakuum fysisk adsorpsjonsmekanisme. Først når trykket p <10-6pa er="" åpenbart,="" kan="" det="" oppnås="" ved="" diffusjonspumpen="" for="" ekstraksjon,="" og="" trykket="" måles="" med="" ba=""> Når det gjelder grensen mellom ultrahøyvakuum og ultrahøyvakuum, skyldes det at statistisk svingning (større enn 5 * 10-2) oppstår når p <10-12>

Ovennevnte vakuumregioner er delt inn i områder som representerer et trykkområde, på grunn av at trykk fremdeles uttrykkes i grader. I et lavvakuum, et høyvakuum, et meget høyt vakuum og et meget høyt vakuum er imidlertid trykket omtalt i hovedsak forskjellig, bare en relativ indikasjon på andre mengder.

De fysiske egenskapene til vakuum, vakuumpumpe og vakuummåler som brukes i hver region er beskrevet i tabell 1.

Med utvikling av vakuumteknologi har divisjonen av vakuumregioner også endret seg.