Diffusjonspumpe
Apr 09, 2020| Diffusjonspumpe
Som vi alle vet, er oljediffusjonspumpe en slags pumpe som ofte brukes i høyt vakuumsystem. Så spørsmålet er, hva er metodene? Metodene er som følger: For det første har valget av god ytelse til diffusjonspumpeoljen på oljediffusjonspumpens grensetrykk stor innvirkning. Hvis nei. 3 diffusjonspumpeolje brukes, det ultimate trykket kan bare nå 10-5pa; Når 275 silikonolje brukes, kan det ultimate trykket nå 10-7pa, og det ultimate trykket kan økes med 2 størrelsesordener. For det andre endres deltrykket av den pumpede gassen også med forskjellen på pumpeoljen, som er påvirkningen av sammensetningen av pumpeoljen. Derfor må oliediffusjonspumpe med god ytelse velges for å oppnå ultrahøyt vakuum. Siden diffusjonspumpeoljen er så viktig, hvordan skal vi velge? Kravene til diffusjonspumpeoljen er: pumpeoljens relative molekylvekt for å være stor, romtemperaturens damptrykk er lav, termisk stabilitet og oksidasjonsmotstand for å være god, frysepunkt og lav temperaturviskositet for å være lav, ikke-giftig, korrosjonsbestandighet, kostnadene for å være lave. Høytvakuumoljediffusjonspumpe BRUKER generelt nr. 3 diffusjonspumpeolje, ultrahøyt vakuum BRUKER silikonolje, krever det ultrahøye vakuumsystemet uten hydrokarboner, diffusjonspumpen BRUKER fluorolje. For det andre bør bruk av fornuftig baketeknologi oljediffusjonspumpe for å oppnå ultrahøyt vakuumsystem utføres høy temperatur baking, formålet er å redusere hastigheten på materialet. Materialer i atmosfæren kan absorbere og absorbere litt gass, når det i vakuum vil produsere desorpsjon, gass sakte frigjort for å akselerere desorpsjon ved bruk av bakervarer.
Bake? Høres enkelt ut, ikke sant? Nei, nei, nei, nei, nei, nei, nei, nei, nei, nei. Prinsippet er at høyere temperatur er bedre, kan øke hastigheten på luften, men også å vurdere om materialet tåler den høye temperaturen. Stekes i riktig temperatur. Vanligvis metallmaterialer, for eksempel rustfritt stål, baketemperatur på 250 ℃ - 450C; Baketemperaturen for ikke-metalliske materialer er 80 ℃ - 100 ℃ . Steketid over 4h - 8h. Baketiden med ekstremt høyt vakuum er mer enn 24 timer. Ytelse av typisk metalloljediffusjonspumpesystem (etter steking) og restgasskomponenter i ultrahøyt vakuumsystem for metalloljediffusjonspumpe. For det tredje, legg til en kaldfelleinnretning for å forhindre tilbakestrømning av pumpeolje og overføre pumpeoljen gjennom pumpens innløpsstrøm til det pumpede beholderfenomenet kalles tilbakestrømning. Fenomenet med oljemolekyler som beveger seg langs veggen inn i den pumpede beholderen kalles omvendt migrasjon. Både tilbakestrømning og omvendt vandring påvirker det endelige trykket i vakuumsystemet. Kaldfelle er mye brukt i ultrahøyt vakuumsystem, det er installert mellom pumpeinntaket og vakuumkammeret, ikke bare kan effektivt fange bakstrømmen til diffusjonspumpens damp og delvis delt løsning, men kan også fjerne dampen fra Vakuum-kammer. Ultrahøyt vakuumsystem med forskjellige feller. Ultrahøyt vakuum på 10-8pa ~ l0-10pa (eller høyere) kan oppnås etter grundig baketemperatur og avgassing. Den ofte brukte kalde fellen er den kalde fellen med flytende nitrogen, fordi oljedamptrykket ved flytende nitrogen er mye lavere enn de ultrahøye vakuumkrav. Utformingen av kaldt felle med flytende nitrogen må sikre at molekylene som passerer gjennom fellen møter den kalde overflaten, og strukturen må være rimelig. Etter installasjon av den kalde fellen med flytende nitrogen reduseres pumpehastigheten til oljediffusjonspumpen ikke mer enn 40%.
Å redusere omvendt diffusjon av pumpet gass er en av faktorene som begrenser diffusjonspumpen for å oppnå ultrahøyt vakuum. Antidiffusjon av gass er relatert til molekylmassen. Jo mindre masse, jo lettere er antidiffusjonen. Det er to metoder for å forhindre omvendt diffusjon av hydrogen i diffusjonspumpen: for det første, reduser eksostrykket ved utløpet til diffusjonspumpen, og bruk to diffusjonspumper i serie for å oppnå; Det andre er å installere en flytende-nitrogenkjølt titan-sublimasjonsfelle på innløpsrøret til diffusjonspumpen for å fange opp anti-diffusjonshydrogen.
IKS PVD Technology (Shenyang) Co, Ltd, produsent av PVD vakuumbeleggsmaskin fra Kina, hovedprodukt
inneholder: dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD-beleggslinje. Kontakt oss nå. E-post: iks.pvd@foxmail.com
