Dynamisk lekkasje av vakuumsystemet

Dynamisk lekkasje av vakuumsystemet

I vakuumsystemet, der det er bevegelsesoverføring, vil dynamiske tetninger bli brukt, og disse dynamiske tetningsstrukturene vil sannsynligvis være godt forseglet på statisk tid og lekkasje når de beveger seg; For eksempel bruk av gummiaksel tetninger for å gjøre den dynamiske tetningen (mellom stammen og ventillegemet) på ventilen, den er mer utsatt for dette fenomenet. Sannsynligheten for dette fenomenet er ikke høy, men fordi ventilen generelt er åpen eller lukket når lekkasjen oppdages, er den dynamiske lekkasjen vanskelig å oppdage. For kritisk prosess kan valget av belgens tetningsventiler redusere sannsynligheten for dynamisk lekkasje hvis ventilen fremdeles er forseglet av akselforseglingen. Når lekkasjen blir oppdaget, sprayes helium til ventilstamposisjonen samtidig, ventilen blir betjent, og den dynamiske lekkasjen til ventilen kan raskt bestemmes.

IKS PVD Company, dekorativ beleggsmaskin, verktøybeleggmaskin, DLC beleggsmaskin, optisk beleggsmaskin, PVD-vakuumbelegglinje og et nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e -post: iks.pvd@foxmail.com