Dannelsen av tynne filmer

1. koagulering er resultatet av gjensidig opptak av matrix molekyler og avdamping atomene

I vakuum, når visse energi fordamper atom gjøre inngrep på overflaten av underlaget kraftbørsen med underlaget molekylet påvirkes av feltet kraft av substrat overflate og fysiske adsorpsjon og chemisorption oppstår mellom de fordamper atom og underlaget molekylet. Fysisk adsorpsjon er noen to Vander Waals styrker nær hverandre mellom molekyler, og kjemiske adsorpsjon er kjemisk bånd mellom atomer. Ikke alle fordampning atomer kan adsorpsjon med underlaget molekyler, noen av atomene holde mesteparten av energien som egne og kollisjonen skjedde etter refleksjon, selv de fordampet atomene adsorbert han fortsatt kan overføres på underlaget overflaten eller av desorpsjon og la overflaten av underlaget. I tillegg på overflaten av underlaget er det en tilknytning mellom fordampet atomene og samme type atomer adsorbert på overflaten av underlaget. Prosessen med fordamper atomer adsorbert av underlaget kalles agglomeration.

Forholdet mellom kondensert atom til hendelsen atom kalles coacervation koeffisient av fordampning atom. Forskjellige tiltrekning mellom atomer er agglomeration koeffisient av samme type fordampning atomer for ulike underlag forskjellige.

Hver fordampet atom har forskjellige kritisk temperatur av filmen formasjonen for ulike underlag og temperaturen i underlaget er lavere enn kritisk temperaturen på filmen, det kan være kondensert. Dette fenomenet kan tolkes som: når temperaturen i underlaget er for høy, avdamping atomene impinging på underlaget overflaten er reflektert eller desorbed. I filmen forming prosessen (eksisterende filmen danner basis), selv om temperaturen i underlaget overskrider kritisk temperaturen filmen kan fortsette å vokse og tilstanden krystallisering endres. I den tidlige fasen av filmer dannelsen, filmen er i amorfe stat eller glasslegemet, med økt temperatur, filmen gradvis å metastable overgangen, hvis denne trenden fortsetter, det vil bli forvandlet til stabile, endelig i krystallinsk filmer.

2. formasjon prosessen med tynn film

På begynnelsen av avsetning, substrat overflate absorberes jevnt noen fordamping av atomer, samspillet mellom atomene av fordampning samles i noen kjerner som vokser, migrasjon, sammenslåing, dannelsen av en rekke små øyer (store krystall kjerner samlet), basale overflaten av disse øyene videre vekst ligner hverandre, er koblet sammen for å danne en stor øy. Høydene av disse øyene og små øyer er økende avsetning, og til slutt en nettverksstruktur med grøfter dannes på hele base overflaten. Resultatet av kontinuerlig fordampning, fordampning atomer er også kontinuerlig nucleated og i skyttergravene, og til slutt de komplette grøfter gradvis fylles. Når grøfter og hull i overflaten av basen er fylt, fortsette fordampet atomene å bygge opp alle typer filmer på disse strukturene.

Under elektron mikroskop, kan det ses at konvensjonelle termisk fordampning filmene er alle sylindriske strukturer. Retning av sylinderen er den samme som i filmen vekst, men vinkelrett filmen grensesnittet, og det er mange hull mellom sylindere disse. Måler totalt gapet i filmen ved å fylle tetthet:

Fylle tetthet (P) = volumet av solid del av filmen (sylindere) / volumet av filmen (sylinder + pore)

Fylle tetthet er en funksjon av underlaget temperaturen og i de fleste tilfeller, filler tetthet øker med økt substrat temperatur. Generelt øker Fordampningshastighet kan øke fylling tetthet, og effekten av Fordampningshastighet er spesielt viktig når filmen er lavere. Pakking tetthet øker også med økningen av filmen tykkelse. Dette er trolig på grunn av endring av strukturen filmen under film-danner prosessen. Det kan også skyldes blokkeringen av en del av filmen porene i filmen formasjon prosessen.