Innføring av Bias

Forspenningsspenningen refererer til den negative spenningen som påføres substratet under beleggingsprosessen. Den positive terminalen til bias strømforsyningen er koblet til vakuumkammeret, mens vakuumkammeret er jordet. Den negative klemmen til forspenningen er koblet til arbeidsstykket. Fordi jordens spenning generelt anses å være null potensial, spenningen på arbeidsstykket som negativ forspenning, referert til som forspenning.

1. Funksjon av negativ forspenning

◆ gi partikkel energi;

◆ Oppvarmingseffekt på underlaget;

◆ Fjerning av gassen og fettete smuss som er adsorbert på substratet, er gunstig for å forbedre filmens limstyrke.

◆ Aktiver substratoverflaten;

◆ For de store partiklene i buejonering har rensingseffekten.

2. Klassifisering av forspenning

(1) Ifølge bølgeformen kan deles inn i:

DC forspenning   DC-pulserende forspenning

DC overlagret puls bias Bipolar pulsforspenning

(2) I henhold til behovet for å bytte høyspenning og lav spenning når strømmen brukes, kan den deles inn i:

Effektutgangsdiagram for bytte av høyspenning og lav spenning

Du trenger ikke å bytte trinnløs kontinuerlig reguleringsutgang med høy og lav spenning

Justerbare parametere av bias strømforsyning: bias amplitude, arbeidsforhold, frekvens og bølgeform.

3. Karakteristisk for bias strømforsyning

◆ Antall lysbue-slukning per minutt.

◆ Påvisning av følsomheten til store buer (mJ / kW detekterbar lysbue).

4. Last karakteristisk for bias

Arbeidsbelastningen av bias er plasma, og plasmaet viser resistiv når DC-forspenningen brukes. For en annen, når pulserende forspenning påføres, viser plasmaet resistiv + kapasitiv, som kan betraktes som en serieforbindelse av motstander og kondensatorer. Kjernenes essensitet er forårsaket av plasmaskjett på underlaget.