Hovedproblemer med vakuumsystemet til oljediffusjonspumpen

Hovedproblemer med vakuumsystemet til oljediffusjonspumpen

Forurensende kilder til vakuumsystemet til oljediffusjonspumpen:
(1) tilbakestrømmen av oljedamp i diffusjonspumpen. Dette er den viktigste kilden til forurensning.
(2) Delene i systemet skal holdes i hånden med olje under montering. Bruk fete hansker da de klissete organiske molekylene kan forurense systemet.
(3) tilbakestrømning av oljen i den mekaniske pumpen til den tidligere oljetetningen. Dette problemet er også svært alvorlig, når innløpstrykket er høyere, i overgangssonen (1 ~ 10-1Pa) trykk, kan den mekaniske pumpeoljedampen direkte komme inn i diffusjonspumpen, direkte forurensning av systemet. Mye av vakuumprosessforurensningen kommer fra mekanisk pumperetur. Når den mekaniske pumpen er stoppet, hvis atmosfæren ikke settes inn i pumpen i tide, kan den mekaniske pumpeoljen returneres direkte til diffusjonspumpens oljepanne. Når diffusjonspumpen startes, er forurensningen av systemet mer alvorlig.
(4) forurensning forårsaket av utslipp av tetningsmaterialer i eksossystemet. Spesielt tetningsringer av kunstig gummi, tetningsfett, smøreolje osv. forårsaker også alvorlig forurensning.
(5) Når pumpen stoppes og atmosfæren frigjøres, sitter vakuumdelene fast med vanndamp og lampesvart i luften, noe som forårsaker forurensning til vakuumsystemet

IKS PVD-selskap, dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, DLC-beleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD-vakuumbeleggingslinje, nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e-post:iks.pvd@foxmail.com