Saker som trenger oppmerksomhet ved bruk av kryogenpumpe
Feb 26, 2021| Saker som trenger oppmerksomhet ved bruk av kryogenpumpe
Påvirkning av varmebelastning av kryogen pumpeport
Den termiske belastningen på kryogenpumpens populasjonsbarriere beregnes vanligvis i henhold til 300K gass. Hvis inntakstemperaturen til den kryogene pumpen er for høy, bør noen metoder benyttes for å skjerme varmekilden. Ellers kan temperaturen på innløpsskjermene overstige 100K, og påvirke direkte adsorpsjonens temperatur og påvirke fanget gass.2. Virkning av plutselig strømbrudd på drift av kryogenpumpe
Under kontinuerlig drift av kryogenpumpe har adsorpsjon av helium blitt aktivert karbon. Hvis det oppstår et strømsvikt i en kort periode, vil heliumgassen frigjøres når adsorpsjonsmatrisen trekker seg tilbake. Vanndampen vil også desorberes fra den sekundære kaldskjermen og baffle og adsorberes av adsorpsjonsoppstillingen. I dette tilfellet trenger den kryogene pumpen regenerativ behandling.
3. Helium-renhet for systemkonfigurasjonspresse ved lav temperatur
Heliumpressen må fylles med argon med høy renhet, og krever 99,999%. Neon er den vanligste urenheten, som kan kondensere på overflaten med lav temperatur i det primære og sekundære kjølehulrommet, noe som fører til slitasje på tetninger. Under vedlikehold av heliumpressen, må du være spesielt oppmerksom på påfyllingsmetoden til helium, og luft bør ikke bringes inn, ellers vil rørledningen bli blokkert.
4. Påvirkning av oljetåke på kryogenpumpe
Bruk av kryogenpumpe, hvis det er en gasskilde med oljetåke i vakuumkammeret, vil den forurense aktivt karbon i adsorpsjonsmatrisen, slik at den mister pumpekapasiteten. Ved regenerering av kryogenpumpe er det også nødvendig å forhindre oljeforurensning av aktivt karbon.
5. Fjern farlige gasser
Kryogenpumpe skal ikke brukes til å fjerne farlig gass, etter oppfanging, frigjøring ved regenerering, fare for miljøet og personlig sikkerhet.
6. Sikkerhetsventil på lavtemperaturanlegg
Når den kryogene pumpen regenereres, frigjøres den oppfangede gassen noen ganger øyeblikkelig på grunn av temperaturstigningen, noe som forårsaker trykkstigningen i det kryogene pumpekammeret og fare for pumpens sikkerhet. For å oppnå dette må den kryogene pumpen installeres med en sikkerhetsventil for å frigjøre luft ved overtrykk. Sikkerhetsventilen må kontrolleres regelmessig. Store vakuumsystemer og kryogene pumper har noen ganger høy installasjonshøyde. Det er ikke lett for operatører å betjene, og mer oppmerksomhet bør pålegges sikkerhetsventilen, ellers vil det føre til store ulykker.
IKS PVD selskap, dekorativ belegg maskin, verktøy belegg maskin, optisk belegg maskin, PVD vakuum belegg linje. Kontakt oss nå, E-post: iks.pvd@foxmail.com


