Kondenseringspumpen blir utsuget for å kondensere gass på en overflate med lav temperatur for pumping

1) Kondenseringspumpen blir avsuget til å kondensere gass på en lav temperaturflate for pumping. Når det er en kald overflate i vakuumkammeret, vil det oppstå kondens på det, noe som kan spille rollen som luftekstraksjon. Dette er arbeidsprinsippet for kryogen kondensasjonspumpe og kryogen kaldfelle. Det mettede damptrykket er nært beslektet med temperaturen, og når temperaturen går ned, faller det mettede damptrykket.

Tabell 1 viser atmosfærens standard sammensetning. Figur 1 viser temperaturforholdskurven for mettet damptrykk for forskjellige gasser. Som det fremgår av figur 1, når temperaturen synker til 20K, bortsett fra neon, hydrogen, helium og andre vanskelige å kondensere gasser, er det mettede damptrykk for alle andre komponenter i luften lavere enn 10-10 torr. Når den lufttette beholderen fylt med luft blir avkjølt til 20 K, kan vakuumet nå 1,2E-3 torr. Ved 4,2 kg er det bare helium igjen, og vakuumet er opp til 5e-5torr. Den kalde overflaten på kondenseringspumpen kan generelt velges ved ca. 14-20k, og metoden for å skylle med lett kondenserende gass eller støvsuging med andre pumper blir brukt for å redusere mengden hydrogen, helium og annen vanskelig kondensasjonsgass i den pumpede system. En liten mengde vanskelig kondenserende gass som lekker inn i systemet under drift kan også fjernes med andre pumper.

[tabell 1] standard atmosfærisk sammensetning

[FIG. 1] temperaturforhold mellom mettet damptrykk av forskjellige gasser

IKS PVD, vi er produsent av vakuumbeleggingsmaskin fra Kina, flere detaljer, kontakt: iks.pvd@foxmail.com