Hardheten til DLC-film

Hardheten til DLC-filmen fremstilt ved hjelp av magnetisk filterkatodebuemetoden (FVCA) er lik den for diamantfilm. Hardheten til DLC-filmen fremstilt ved vakuumkatodebuemetoden (VCAD) er over HV5000. Hardheten til DLC-filmen fremstilt ved magnetronsputtering er generelt lavere enn HV2000. I tillegg påvirker avsetningsprosessen og dopingen også hardheten til DLC-film. Riktig skjevhet, trykk og atmosfære kan forbedre hardheten til DLC-film i ulik grad. De fleste eksperimenter viser at doping kan redusere hardheten til DLC-film i ulik grad, men noen tror at inkorporering av Si kan forbedre hardheten til DLC-film. DLC-film har generelt en stor indre belastning. Den indre spenningen er ikke bare relatert til strukturen og komponentene til DLC-film, men har også et godt forhold til filmdannende prosessen. For eksempel, i H-DLC-film, har intern stress et godt forhold til H-innholdet. Mens den høye hardheten til DLC-film opprettholdes, kan innlemming av N, Si og noen metallelementer redusere indre stress. Den indre spenningen påvirker i stor grad bindeegenskapene til DLC-film og substrat. Når DLC-film avsettes direkte på underlaget, er bindingskraften til filmen generelt dårlig. Jo tynnere DLC-filmen er, desto bedre bindekraft mellom filmen og underlaget. I tillegg kan adhesjonen til DLC-filmen forbedres ved å legge til et overgangslag mellom DLC-filmen og underlaget. Hvis Cr brukes som overgangslag, forbedres bindingen mellom membranen og underlaget betydelig. Ulike kjellerpar med overgangslag er forskjellige.

IKS PVD-selskap, dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, DLC-beleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD-vakuumbeleggingslinje, nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e-post: iks.pvd@foxmail.com