Den viktigste sedimentære prosessen til PECVD
Oct 18, 2024| Den viktigste sedimentære prosessen til PECVD
Sammenlignet med tradisjonelt AP-CVD- og LP-CVD-utstyr, har PE-CVD-utstyr blitt den mest brukte utstyrstypen i chipproduksjon av tynnfilmavsetningsprosessen. CVD-teknologi spiller en nøkkelrolle på mange felt på grunn av sin fleksibilitet og effektivitet i fremstillingen av forskjellige materialer og filmer. Tynnfilmavsetning: CVD brukes til å deponere ulike tynne filmer, som amorft silisium, polysilisium, silisiumnitrid (Si3N4), silisiumdioksid (SiO2), etc. Lysdioder og lasere: CVD brukes til å produsere III-V halvledermaterialer i lysdioder og lasere, slik som galliumnitrid (GaN) og galliumarsenid (GaAs). Fotovoltaiske celler: Ved produksjon av solceller brukes CVD til å avsette tynne filmer, for eksempel tynne silisiumfilmer og sinkoksid (ZnO), etc., for å forbedre den fotoelektriske konverteringseffektiviteten. Slitasjebestandige belegg: CVD brukes til å avsette superharde belegg som diamant og kubisk bornitrid (c-BN) for å forbedre slitestyrken og levetiden til verktøy, støpeformer og mekaniske deler. Korrosjonsbestandige belegg: Med CVD kan korrosjonsbestandige belegg som titannitrid (TiN) og titankarbid (TiC) avsettes for å beskytte metalloverflater mot korrosjon. Antirefleksjonsbelegg: CVD brukes til å forberede antirefleksjonsbelegg for å redusere refleksjon på overflaten av optiske komponenter og forbedre den optiske ytelsen. Filtre og bølgeledere: I optisk kommunikasjon brukes CVD til å produsere enheter som filtre og bølgeledere for å forbedre signaloverføringseffektiviteten. Biokompatible belegg: CVD-teknologi brukes til å avsette biokompatible belegg som titannitrid og zirconia (ZrO2) på overflaten av medisinsk utstyr og implantater for å forbedre biokompatibiliteten og holdbarheten. Mikroelektromekaniske systemer (MEMS): CVD brukes til å produsere strukturelle materialer og funksjonelle filmer i MEMS-enheter, slik som polysilisium og silisiumnitrid.
IKS PVD-selskap, dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, DLC-beleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD-vakuumbeleggingslinje, nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e-post: iks.pvd@foxmail.com