Substantivforklaringen om vakuum
Oct 31, 2018| Substantivforklaringen om vakuum
IKS PVD iks.pvd@foxmail.com
1. Definisjon av vakuum
Et vakuumsystem er et tynt volum gass under atmosfæretrykket i området.
2. Vakuumgrad
Graden av tynnhet i vakuum uttrykkes vanligvis som "høyvakuum" og "lavvakuum". Et høyt vakuum betyr godt, og et lavvakuum betyr dårlig.
3. Vakuum enhet
Vanligvis brukes Torr som enhet, og Pa brukes internasjonalt de siste årene.
1 holder = 1/760 atmosfære = 1 millimeter kvikksølv
4. Overfør mellom Tod og pa
1 paller = 133.322 paller eller 1 paller = 7,5 ganger 10-3 paller
5. Gjennomsnittlig fri bane
Den gjennomsnittlige avstanden som passeres av to påfølgende kollisjoner av gasspartikler i uregelmessig termisk bevegelse er betegnet med symbolet "avgang".
6. flyt
Mengden gass som strømmer gjennom en hvilken som helst seksjon i enhetstid, uttrykt som "Q", i enheter av Pa · L / s (Pa · L / s) eller Torr · L / s (Torr · L / s).
7. Flowguide
Det er evnen til en vakuumrørledning å passere gjennom en gass. Enheten er liter per sekund (L / s), og i jevn tilstand er rørstrømmen lik rørrøret dividert med trykkforskjellen mellom rørets to ender. Symbolet heter U.
U = Q / (P2, P1)
8. Trykk eller trykk
Kraften som påføres av et gassmolekyl pr. Arealareal av beholderens vegg uttrykkes som P.
9. Standard atmosfærisk trykk
Trykk på 101325 dain per kvadratcentimeter, symbol: (Atm).
10. Ultimate vakuum
Etter at vakuumbeholderen er fullt pumpet, stabiliseres den ved en viss vakuumgrad, som kalles det ultimate vakuum. Vanligvis må vakuumbeholderen gjennomgå luftrening i 12 timer og deretter vakuum i 12 timer. Den endelige timen måles hvert 10. minutt. Gjennomsnittlig verdi på 10 ganger er tatt som grensevakuumverdien.
11. Pumpinghastighet
Ved et visst trykk og temperatur kalles pumpen fra pumpens innløp i enhetstid pumpens hastighet eller pumpesatsen. Sp = Q / (p-p0).
12. Termoelement vakuummåler
En vakuummåler som brukes til å måle vakuumgraden ved å bruke termoelementets elektriske potensial i forhold til varmeelementets temperatur og elementets temperatur i forhold til varmeledningen av gassen.
13. Ionisering vakuummåler (varm katode ioniseringsmåler)
Den består av en rørformet samlerpinne, et rutenett og en filament som ligger i midten av rutenettet. Den rørformede samlerpolen er utenfor rutenettet. Elektroniske ioniserte gasmolekyler med varmt katodeutslipp, ioner samles opp av oppsamleren, i henhold til den samlede ionstrømstørrelsen for å måle gasstrykket til vakuummåleren.
14. Kompositt vakuummåler
Bestående av en termoelement vakuummåler og en varmkatode ioniserings vakuummåler er måleområdet ~ 10-5pa.
15. Kall katode ioniseringsmåler
Det er et par katodeplater i begge ender av anodrøret, under påvirkning av det ytre magnetfelt blir pannutladning dannet inne i anodrøret for å produsere ioner, og vakuummåleren av gass-trykk bestemmes i henhold til størrelsen av ion strømmen samlet opp av katodeplaten.
16. Motstands vakuummåler
En vakuummåler som måler vakuumgraden ved hjelp av en brokrets, ved å bruke prinsippet om at motstanden til varmeelementet er relatert til temperatur og temperaturen på elementet er relatert til gassledning.
17. McLeod vakuummåler (komprimert vakuummåler)
Gassen som måles, blir komprimert til et meget lite volum med kvikksølv (eller olje), og deretter sammenlignet med væskeforskjellen mellom åpen og lukket rør.
18 og B - En måler
Dette er en varm katode ioniseringsmåler med en kollektor inversjon. Samlerelektroden er en filament, plassert i midten av rutenettet, og filamentet er plassert utenfor rutenettet, og dermed reduserer effekten av myk røntgen.
19. Vannring vakuumpumpe
Pumpehjulet roterer for å produsere en vannring. Det er en mekanisk vakuumpumpe, pumperluft på grunn av periodisk endring av volumet mellom vannringen og bladet på grunn av rotoreksentrisitetsrotasjon.
20. Gjenvinnende vakuumpumpe
Det er en mekanisk vakuumpumpe som trekker luft ved stempelets frem- og tilbakegående bevegelse.
21. Oljetetning mekanisk vakuumpumpe
Mekanisk vakuumpumpe med olje for å holde forseglingen kan deles inn i fast type, roterende type, glideventil type, trokoid type og så videre.
22. Røtter vakuumpumpe
Mekanisk vakuumpumpe med et par synkrone høyhastighets roterende sko rotorer, denne pumpen kan ikke pumpes separat, oljetetning, vannring og andre vakuumpumper kan direkte avgjøre atmosfæren.
23. Turbo-molekylær vakuumpumpe
Det er en høyhastighets roterende pumpehjul. Når gassmolekylene kolliderer med det høyhastighets roterende turbinbladet, blir de drevet til utløpet og deretter fjernet av frontpumpen.
24. Oljediffusjon vakuumpumpe
En høyhastighets dampstrøm utløses fra dysen til diffusjonspumpen. Under molekylstrømmen blir gassmolekylene kontinuerlig diffundert i dampstrømmen og komprimeres av dampbeltet til pumpens utløp trinnvis og deretter utelukket av den tidligere pumpen.
25. Lavtemperatur vakuumpumpe
Vakuumpumpen brukes til å kondensere adsorpsjonsgassen på lavtemperaturoverflaten under 20K.
26. Kaldfelle (vannbaffel)
En anordning plassert mellom en vakuumbeholder og en pumpe for å absorbere gass eller fange oljedamp.
27. Luftballastventil
Mekanisk oljetetning vakuumpumpe på kompresjonskammeret for å åpne et lite hull, og sett på regulatoren og juster volumet når ventilen åpnes, rotoren til et bestemt sted, passerte dette hullet med trykkluftkammer for å redusere kompresjonsforholdet, så For å få mest mulig ut av dampen kondenseres det utelukkende fra pumpen med blandet gass i ventilens rolle, kalles gass ballastventilen.
28. Vakuumfrysingstørking
Vakuumfrysingstørking, også kjent som sublimeringstørking. Tanken er å fryse materialet slik at vannet den inneholder, blir til is, så sublimere isen i et vakuum for å tørke ut.
29. Vakuumdampning
I et vakuummiljø kalles oppvarming og belegging av materialet på substratet vakuumfordampning eller vakuumbelegg.
30. Vakuumtørking
Det er en metode for å tørke artikler ved å bruke lavt kokepunkt i et vakuummiljø.
31. Fellesnavn for vakuumsystem
(1) hovedpumpe: I vakuumsystemet brukte vakuumpumpen til å oppnå den nødvendige vakuumgraden for å oppfylle de spesifikke prosesskravene, som for eksempel oljediffusjonspumpen i vakuumbelegningsmaskinen, er hovedpumpen.
(2) forstadiepumpe: Vakuumpumpen brukes til å opprettholde trykket fra en vakuumpumpe i fremre trinn under kritisk fremre fase. En roterende vinge eller glideventilpumpe, som i tilfelle av en rotorpumpe, er en forpump.
(3) grov pumpe: vakuumpumpen som begynner å pumpe luft under atmosfærisk trykk, og pumper systemtrykket til en annen vakuumpumpe for å starte arbeidet. Såsom vakuumbeleggsmaskin i glideventilpumpen, er grov oljepumpe.
(4) vedlikeholdspumpe: I vakuumsystemet er luftvolumet svært lite og frontpumpen kan ikke utnyttes effektivt. For dette formål, en liten kapasitet til hjelpepumpen for å opprettholde hovedpumpearbeidet, kalles denne pumpen vedlikeholdspumpe. Hvis en liten rotasjonsviftepumpe er gitt ved utløpet til diffusjonspumpen, er det vedlikeholdspumpen.
