Vannkjølerens rolle i vakuumbeleggprosessen
Nov 10, 2018| Vannkjølerens rolle i vakuumbeleggprosessen
Arbeidsprinsippet for vakuumbelegg er at membranen fordamper ved høy temperatur og faller på overflaten av arbeidsstykket. Da luften motstår fordampningen av membranmolekylene, som resulterer i en kollisjon som gjør krystallene roligere og dullere, må den være under høyvakuum for å gjøre krystallene så skinnende som mulig . Det tidlige vakuumbelegget er avhengig av naturlig spredning av fordamper, kombinert med lav effektivitet og lav glans. Nå, med tilsetning av mediumfrekvensmagnetronputtering-mål, ble fordampningsmolekylene i membranen akselerert for å bombardere målet under virkningen av elektrisk felt . Et stort antall målatomer ble sputteret, og et nøytralt målatom (eller molekyl) ble avsatt på substratet for å danne en film.
Medium frekvensutstyr må være utstyrt med kjølevann på grunn av høyfrekvens og høy strøm. Når strømmen strømmer gjennom lederen, er det en hudeffekt. Ladningen akkumuleres i overflaten av konduktansen, noe som gjør konduktansen varm. Derfor er mediumhullrør brukt som leder og vann tilsettes for å avkjøle lederen.
(hovedsakelig sylindriske mål) hvorfor vannkjøling?
Den høye temperaturen på magnetronsputtering målet under avfyring deformerer pistolen, så det har en vannjakke for å avkjøle pistolen. Det er også en viktig årsak til at magnetronsputtering kan betraktes som en av de mest fremragende prestasjonene innen beleggteknologi. Den har høy sputteringhastighet, lav substrattemperaturstigning og god filmbase-binding.
Det mer generelle prinsippet om magnetronsputtering og tverrgående inhomogenitet og symmetri av magnetfelt er de viktigste årsakene til magnetisk begrensning. Magnetronsputtering kan betraktes som en av de mest fremragende prestasjonene innen beleggteknologi. Den har høy sputteringhastighet, lav substrattemperaturstigning, god filmbasert bindende kraft og stabil ytelse.
Chiller er en slags vannkjølingsutstyr, som kan gi konstant temperatur, konstant strøm og konstant trykk. Dens arbeidspraksis er å injisere en viss mengde vann inn i vanntanken i maskinen først, kjøle vannet gjennom kjølesystemet, og send deretter kjølevannet med lavt temperatur inn i utstyret som skal avkjøles av pumpen. Det kjølte vannet vil ta bort varmen og deretter øke temperaturen og gå tilbake til vanntanken for å oppnå kjøleeffekt. Kjølevannstemperaturen kan justeres automatisk i henhold til kravet.
Kaldvannsfunksjonen styrer temperaturen på vakuumbelegningsmaskinen for å sikre platingens høye kvalitet. Hvis den ikke er utstyrt med en kaldvannsmaskin, kan vakuumbelegningsmaskinen ikke oppnå formålet med høy nøyaktighet og høy effektivitet, fordi naturlig vann- og tårnvarmefordeling uunngåelig påvirkes av den naturlige temperaturen, og denne kontrollen er ustabil.
Kaldvannsmaskin har helt uavhengig kjølesystem, ikke påvirket av temperatur og miljø, vanntemperaturen i 5 ℃ ~ 30 ℃ rekkevidde justeringskontroll, og dermed oppnå formålet med temperaturkontroll og høy presisjon, høy effektivitet, kaldvannsmaskin er utstyrt med uavhengig vanngenvinningssystem.
IKS PVD tilpasset den aktuelle maskinen for deg, kontakt oss nå.
iks.pvd@foxmail.com


