Ventilene og rørene i vakuumsystemet

Ventilene og rørene i vakuumsystemet skal gjøre pumpetiden til systemet kort, enkel å bruke, sikker og pålitelig. Generelt er det en dampstrømpumpe som hovedpumpe (diffusjonspumpe eller oljeboosterpumpe); Og en mekanisk pumpe som et frontpumpesystem, i tillegg til frontrørledningen (dampstrømspumpeserien mekanisk pumperørledning), bør det også være en pre-vakuumrørledning (vakuumkammer direkte til den mekaniske pumperørledningen). For det andre arrangeres en høy vakuumventil (også kjent som hovedventilen) mellom vakuumkammeret og hovedpumpen, og en pre-stage rørledningsventil (også kjent som en lav vakuumventil) er ordnet på pre-stage rørledningen; En forvakuumrørventil (kalt en lav vakuumventil) er ordnet på forvakuumrøret. Høye vakuumventiler på hovedpumpen, kan vanligvis ikke støvsuges under panseret, og på panseret for atmosfærisk trykk for å åpne ventilen, dette gjennom elektrisk lås for å sikre sikkerhet. Pre-stage rørventiler og pre-vakuum rørventiler bør ta hensyn til at selve ventilen kan åpne ventilen under atmosfærisk trykk. I vakuumsystemet med en dampstrømpumpe som hovedpumpe, bør hovedventilen dekkes til hovedpumpen, fortrinnsrørventilen skal også dekkes til hovedpumpen, og forvakuumrørventildekselet skal dekkes til vakuumkammeret. I den mekaniske pumpeinntaksrørledningen, bør være utstyrt med en avlastningsventil. Når den mekaniske pumpen slutter å fungere, kan den umiddelbart åpne ventilen, slik at den mekaniske pumpeinntaket inn i atmosfæren, for å forhindre at den mekaniske pumpeoljen strømmer tilbake i rørledningen, slik at ventilen og mekanisk pumpe elektrisk interlock. Vakuumkammeret skal også være utstyrt med en ventilasjonsventil for lasting og bruk av materialer. Ventilens posisjon bør ta hensyn til at når gassen tømmes, er gassimpulsen stor, for å forhindre at de svake komponentene i vakuumkammeret blir ødelagt på grunn av overdreven impuls. Størrelsen på ventilasjonsventilen er relatert til vakuumkammerets volum. Det bør vurderes at ventilasjonstiden ikke kan være for lang, noe som påvirker arbeidet.

IKS PVD selskap, dekorative belegg maskin, verktøy belegg maskin, optisk belegg maskin, PVD vakuum belegg linje. Kontakt oss nå, E-post:iks.pvd@foxmail.com