Arbeidet rettprinsippet molekylære pumpen

Pumpemekanismen av molekylære pumpen er forskjellig fra denmekanisk pumpepumpes av volum endringen av pumpen hulrom, bruk av prinsippet om momentum overføring, molekylær retning strømmen slippes ut utenfor pumpen, for å oppnå hensikten med pumpe.

Molekylær vakuumpumpe er bruk av høyhastighets roterende rotoren overføre energi til gassmolekyler, slik at gjør det komprimering og evakuering. Den har følgende typer:

Trekkraft molekylære pumpen:Gassmolekyler og høyhastighets rotoren kollisjon å få fart, som er sendt til exit, derfor er det et momentum overføre pumpen.

Turbo molekylære pumpen: Pumpen har en riflet disk eller en bladed rotor som roterer mellom stator disker (eller statorer). Omkrets linjehastigheten til rotoren er svært høy. Denne typen pumpe fungerer vanligvis i delstaten molekylær flyt.

Sammensatte molekylære pumpen:Det er en sammensatt molekylær vakuumpumpe som serien sammen med en turbo-type og traction type.

Molekylære pumpen roterer i høy hastighet under stasjonen av motoren, og bruker frekvens konvertering kraften til å kjøre motoren og hensikten er å få en høyere hastighet. I området molekylær flyt gass molekylene kolliderer med overflaten av bladet roterende med høy hastighet, og momentum er overført til gassmolekyler, slik at delvis gass molekyler å generere retningsflyt på rigid kropp overflaten, og utvist de pumpen å oppnå hensikten med gassutvinning. Vanligvis med høy-fart bevegelse av stive kropp heter overflaten gassmolekyler og gjøre det bevege seg i en bestemt retning fenomenet molekylær trekkraft, bruker dette fenomenet av vakuumpumpe kalt trekkraft molekylære pumpen.

Fordelen med trekkraft molekylære pumpen er den kort oppstartstid, høy komprimering i molekylær flyt staten, og kan fjerne alle typer gasser og vapors, og er spesielt egnet for pumping tyngre gasser. Men på grunn av liten pumping hastigheten på trekkraft molekylære pumpen, liten tetting klarering, dårlig pålitelighet, enkel mekanisk svikt og vanskelig produksjon, faktisk det er sjelden brukt. Senere trekkraft molekylære pumpen ble forbedret, og turbo molekylære pumpen opptrådte.

Det er flere grupper interphase trekkraft hjul vanes og fast hjulet vanes i en turbo molekylære pumpen, og det er mange vanes på hvert hjul som er skråstilt på en bestemt vinkel. Faktiske turbo molekylære pumpen består av overlappende blad arrangement i flere etapper, rotoren plate, stator plate, rotoren platen til etterfulgt av alternerende arrangement, roterende blad ligner på effekten av elektrisk vifte bladet, og kan pumpe gassen fra den ene til den andre siden. Øke hastigheten på molekylære pumpen er gunstig for å forbedre pumping hastigheten av molekylære pumpen. På grunn av begrensning av dreie hastigheten av bladene er det vanskeligere å pumpe vakuum hvis gass molekylene bevege seg raskere.

Turbo molekylære pumpen er også en mekanisk vakuumpumpe, som blir pumpet gjennom kombinasjonen av høyhastighets roterende flertrinns turbin rotorbladene og stasjonære blader. Det gir et høyt komprimeringsforhold for utdraget gassen i området molekylær flyt for å oppnå den ønskede vakuum ytelsen. Ultimate vakuum turbo molekylære pumpen er høyere enn diffusjon pumpen, opp til 10-8 pa. Normal arbeider krever en viss grad av pre vakuum. Vakuum nivået varierer litt avhengig av pumpen. Det er vanligvis mellom 1-200pa og mekaniske pumper kan brukes som en forsiden stadium pumpe. På grunn av den høye hastigheten på turbo molekylære pumpen, vanligvis drevet av hvis motoren og hvis makt levere frekvensen mellom 300-400 HZ.

Vannkjøling brukes vanligvis i denTurbo molekylære pumpen.

Densammensatte molekylære pumpener en serie kombinasjon av turbo molekylære pumpen og trekkraft molekylære pumpen. Det integrerer fordelene med to pumper, og har en stor pumping fart og et høyt komprimeringsforhold innenfor et bredt press 10^-6~ 1pa, som forbedrer stikkontakt presset av pumpen.