to typer sputtering belegg
Aug 15, 2020| to typer sputtering belegg
Den ene kalles ion beam beam sputtering, som refererer til å bombardere måloverflaten med ion beam i vakuumtilstand, slik at de sputrede partiklene kan danne en film på overflaten av matrisen. Denne prosessen er relativt kostbar og brukes hovedsakelig til å lage spesielle filmer. Den andre kalles katode sputtering, som hovedsakelig bruker fenomenet med lavtrykksgassutladning for å gjøre ionene i plasma-bombardementet av måloverflaten og avsetting av de sputterende partiklene på matrisen. Den vedtar strukturen til parallell plateelektrode, et stort område som er laget av membranmateriale er katoden, underlaget som bærer matrisen er anoden, og det er installert i vakuumbeholderen. For å redusere forurensning pumpes trykket inne i krukken først til mindre enn L0-3 ~ 10-4pA, og fylles deretter med Ar for å opprettholde trykket ved L ~ 10Pa. Sputtering belegg utføres ved å legge tusenvis av volt mellom polene.
Sammenlignet med avdampingsavsetning har forføringsavsetningen ingen faseforandring i målmaterialet (filmmateriale), sammensetningen er stabil, og legeringen er ikke lett å fraksjonere, så filmmaterialet som er egnet for tilberedning er veldig bredt.Siden energien fra partikler som er avsatt på underlaget ved sputtering er 50 ganger høyere enn fordampning, de har en rense- og oppvarmingseffekt på underlaget, så filmen har en sterk vedheft. Spesielt sputtering belegg er lett å kontrollere sammensetningen av filmen. Ved direkte sputtering eller reaktiv sputtering, kan forskjellige legeringsfilmer, sammensatte filmer, flerlagsfilmer og komposittfilmer med stort område fremstilles jevnt. Sputtering belegg er lett å realisere kontinuerlig, automatisk drift og skala produksjon. På grunn av bruken av høyspenning og gass under sputtering er anordningen imidlertid relativt kompleks, og filmen blir lett påvirket av sputtering-atmosfæren, og filmavsetningsgraden er også lav. I tillegg krever forstøvningsbelegg forberedelse av forskjellige komponenter i målet, lastings- og lossemålet er ikke praktisk, målutnyttelsesgraden er ikke høy.
IKS PVD-selskap, dekorativt belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, optisk belegg mahcine, PVD vakuum-stikklinje. Kontakt oss nå, E-post: iks.pvd@foxmail.com
