Vakuumsystem av turbo-molekylær pumpe i serie med mekanisk pumpe

Vakuumsystem av turbo-molekylær pumpe i serie med mekanisk pumpe

Figur 5-14 viser systemet. Dette systemet kan oppnå et 10-6Pa-vakuum uten baking, og vakuumgraden etter baking kan nå 10-8Pa. Karakteristikken til systemet er relativt rent, og kan danne et oljefritt ultrahøyt vakuumsystem.

Figur 5-14 Turbomolekylær pumpe ultrahøyt vakuumsystem: 1- vakuumkammer 2- Termoelement vakuummåler 3-BA vakuummåler 4- Ultrahøyvakuumventil {{8 }} Turbomolekylær pumpe 6- frontpumpe 7- Magnetventil 8- mekanisk pumpe

IKS PVD-selskap, dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, DLC-beleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD vakuumbeleggingslinje, nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e-post: iks.pvd@foxmail.com