Video dekrypterer arbeidsprinsippet for molekylpumpe

Video dekrypterer arbeidsprinsippet for molekylpumpe

https://v.qq.com/x/page/q1346vypd11.html

Hvordan molekylpumper fungerer?

arbeidsprinsipp:

Pumpemekanismen til molekylpumpen er forskjellig fra den for en mekanisk pumpe, som er avhengig av endring av pumpekammerets volum for å trekke ut luft.

Molekylpumpen drives av motoren for å rotere med høy hastighet. I molekylstrømningsregionen kolliderer gassmolekylene med høyhastighetsbladets overflate, og momentumet overføres til gassmolekylene, slik at noen av gassmolekylene beveger seg i retning av den stive kroppsoverflaten og blir utvist fra pumpen , for å oppnå formålet med luftutvinning. Vanligvis med høyhastighets bevegelse av stiv kroppsoverflate for å frakte gassmolekyler, og få den til å bevege seg i en viss retning av fenomenet kjent som molekylært trekkfenomen, ved å bruke dette fenomenet laget av vakuumpumpe kjent som trekk molekylær pumpe (gad pump). Fordelen med trekkmolekylær pumpe er at starttiden er kort, i molekylær strømningstilstand har et høyt kompresjonsforhold, kan fjerne alle slags gasser og damper, spesielt egnet for ekstraksjon av tyngre gasser. Fordi trekkmolekylpumpens pumpehastighet er liten, tetningsgapet er for liten, arbeidspåliteligheten er dårlig, lett til mekanisk svikt, og faktisk produserende vanskeligheter, sjelden brukt. Senere ble trekkmolekylpumpen forbedret og turbomolekylpumpen dukket opp.

Den turbomolekylære pumpen inneholder flere grupper av vekslende rotorblader og faste rotorblader, og det er mange skråblader i en viss vinkel på hvert blad, som vist på fig. 1. Selve turbomolekylære pumpen er sammensatt av en flertrinns kaskade, nemlig aktiveringsbladet, det faste blad og det bevegelige bladet er anordnet vekselvis. Bevegelige kniver fungerer som elektriske vifteblad når de roterer og pumper gass fra den ene siden til den andre. Å øke hastigheten på molekylpumpen er gunstig for å forbedre pumpehastigheten til molekylpumpen. På grunn av bladets hastighetsgrense er det vanskeligere å pumpe vakuum hvis gassmolekylene beveger seg raskere.

Man ser at turbomolekylær pumpe også er en slags mekanisk vakuumpumpe. Kombinasjonen av høyhastighets roterende flertrinns turbinrotorblad og statiske blader brukes til luftekstraksjon, som gir et høyt kompresjonsforhold for den ekstraherte gassen i molekylstrømningsområdet, for å oppnå den nødvendige vakuumytelse. Det endelige vakuumet til turbomolekylær pumpe er høyere enn diffusjonspumpe, opptil 10 ^ -8pa. Ved normal drift er det nødvendig med en viss vakuumgrad i fronttrinnet, som varierer litt avhengig av pumpen, vanligvis fra 1 til 200Pa. Mekanisk pumpe kan brukes som fronttrinnspumpe. Enheten med høyt vakuum er sammensatt av molekylpumpe og mekanisk pumpe. På grunn av turbo-molekylpumpens høye hastighet blir den vanligvis drevet av hvis motor, og hvis strømforsyningsfrekvensen er mellom 300-400hz. Turbomolekylære pumper blir vanligvis vannkjølt.

Den sammensatte molekylpumpen er en seriekombinasjon av turbomolekylær pumpe og trekkmolekylær pumpe, som kombinerer fordelene med de to pumpesortene til en, og kan være i et bredt trykkområde på 10 ^ -6-1pa, med større pumpehastighet og høyere kompresjonsforhold, noe som forbedrer pumpens utløpstrykk.

  driftsforhold :

(1) rotorhastigheten når 20000r / min, så starttiden til molekylpumpe er relativt lang.
(2) gassen er i molekylstrømstilstand, så den må utstyres med fronttrinnspumpen. Generelt brukes den roterende skovelpumpen som fronttrinnspumpe

Molekylære pumpefunksjoner:

Oljesmøringsmolekylær pumpe: mengden smøreolje er liten, og i vakuumdelen av det tidligere stadiet er forurensningen av vakuumkammeret liten.
Smøremolekylær pumpe: smøremengden er veldig liten, tørrpumpen i forstadiet kan få et rent vakuum nesten uten olje.
Molekylpumpe med full magnetisk suspensjon: ikke behov for smøring, kan brukes med tørrpumpe, rent vakuummiljø uten olje.

Andre vanlige bruksområder:

1. Analyse (massespektrometri, elektronmikroskop osv.)
2. Halvledere (elektroniske komponenter, integrerte kretsløp, fleksible solceller osv.)
3. Optikk / glass (termisk beskyttelse, antirefleksjon, refleksjon, optisk filter)
4. Belegg (overflatebeskyttelse, dekorativ maling, skjerm, skjerm)
5. Vakuummetallurgi (vakuumovn, vakuumlodding, vakuum sintring, vakuumlegering,)
6. Lekkasjedeteksjon (vakuumsystem, drivstofftank for kjøretøy, kollisjonspute)
7. Forskningseksperimenter (medisinsk magnetisk resonansavbildning, kjernefysisk partikkelfysikk, fusjonsforskning, laserapplikasjoner og mye mer)
8. Lampeproduksjonsindustri og beslektede næringer

IKS PVD, belegningsmaskin bruker den magnetiske levitasjons-turbomolekylære pumpen. kontakt med oss nå, for å få mer informasjon om PVD vakuumbeleggingsmaskin, iks.pvd @ foxmail.com