Analyse av kraftbærende evne til magnetronsputtering Mål

  1. Målområde og belastningsområde

(1) Effektdensiteten til sirkulært planmagnetronmål er generelt 1 ~ 25w / cm2

(2) Effektdensiteten til rektangulært planmagnetronmål er 1 ~ 36w / cm2

(3) Effektdensiteten til kolonne magnetron mål og konisk plan magnetron mål (S pistol) er generelt 40 ~ 50w / cm ² .

2. Faktisk bæreevne av magnetronmål

I tillegg til sputteringsteknologien og filmkvalitetskravene, er den faktiske bærekraften til magnetronmålet også nært knyttet til kjølingsforholdene og varmetilførselsbetingelsene for målet.

Magnetronmål kan deles inn i to typer "direkte vannkjølingsmål" og "indirekte vannkjølingsmål" basert på kjølemetoden.

Med tanke på målets aldring etter langvarig bruk, gjør dens varmeavgivelsesbetingelser fattige, og under hensyntagen til forskjellige varmeoverføringskoeffisienter av forskjellige målmaterialer, blir den ultimate belastningskraften til magnetronmålet og den faktiske maksimale effekten av direkte vannkjølingsmål kan settes litt mindre enn den øvre grensen for effektdensitetsområdet. Og den faktiske maksimale belastningen på det indirekte vannkjølingsmålet kan settes omtrent halvparten av den øvre grensen for effektdensitetsområdet.

Når magnetronmål (hovedsakelig Cu, Ag, Messing og Al bronse) "selvsputtering", bruker den vanligvis et magnetronsputteringmål som er spesielt utviklet for å "direkte vannavkjøle". Den ultimate bæreffekten for bruk må være større enn den øvre grensen for målkraftsdensitetsområdet.