Lukket felt Ikke-likevektsmagnetronforstøvningsteknikk

Lukkefelt ikke-likevektsmagnetronforstøvningsteknikk

Ikke-likevektsmagnetronforstøvningsteknologien er basert på det konvensjonelle sputtermålet, som endrer magnetfeltfordelingen på overflaten av sputtermålet ved å endre konfigurasjonen av magneten. Blant dem er den vanligste formen at den perifere magnetiske feltstyrken er høyere enn den sentrale magnetiske feltstyrken, magnetfeltlinjen danner ikke en lukket sløyfe mellom den perifere og senteret, og noen av de perifere magnetfeltlinjene kan strekke seg fra overflaten av målet til nær matrisen. I en slik magnetfeltfordeling er plasmaet ikke lenger begrenset til overflaten av målet, men kan utvides til overflaten av substratet, noe som øker ionestråletettheten på overflaten av substratet. Å bruke ionestrålen med høyere tetthet, men lavere energi for å hjelpe til med avsetning kan ikke bare forbedre kvaliteten på belegget, men også unngå store indre belastninger. For flermåls ikke-likevektsmagnetronforstøvningsteknologi med motsatte tilstøtende magnetiske poler, kan magnetfeltlinjene på kantene av de to tilstøtende målene danne en "lukket felle" for unnslippende elektroner, som effektivt binder elektroner for å unngå tap av elektroner adsorbert til veggen av vakuumkammeret på grunn av svekkelsen av magnetfeltet, og forbedrer dermed sputteringen betydelig. effektiviteten til målet. I denne magnetronforstøvningsteknikken med lukket felt, er plasmaregionen effektivt begrenset til det midtre området av vakuumkammeret, slik at matrisen kan få det ideelle ionebombardementet. Det fire-måls lukkede felt ikke-likevektsmagnetronforstøvningssystemet er svært effektivt for å avsette jevne, tette og komplekse filmer på komplekse underlag, og kan produsere belegg med høy tetthet, høy styrke og høy bindekraft, som har blitt mye brukt i fremstillingen av (Cr,Ti,Al) N-belegg.

IKS PVD-selskap, dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, DLC-beleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD-vakuumbeleggingslinje, nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e-post: iks.pvd@foxmail.com