Avsetningskarakteristikk av elementært mål og legeringsmål

Avsetningsegenskaper for elementært mål og legeringsmål

(Cr,Ti,Al) N kvartære belegg kan fremstilles enten ved co-sputtering av flere elementære mål eller ved direkte sputtering av multikomponent legeringsmål. Fordelen med flere elementære mål avsatt (Cr,Ti,Al) N-belegg ved co-sputtering er at hvert mål er uavhengig av hverandre, og innholdet av Cr,Ti og Al metallelementer i beleggene kan kontrolleres uavhengig av målstrøm eller måleffekt [21], og oppnår derved (Cr,Ti,Al) N-belegg med forskjellige sammensetningsforhold [53]. Det har åpenbare fordeler ved fremstilling av flerlagsfilm og blandet film. Ulempene med denne metoden er at det er mange justerbare parametere, multi-target resirkulering fører til ujevn beleggsammensetning, og det støkiometriske forholdet mellom elementer i (Cr,Ti,Al) N-belegg kan ikke kontrolleres nøyaktig [54]. Ved å bruke legeringsmålavsetning (Cr,Ti,Al) N kvartært belegg, er parameterkontrollen relativt enkel, og sammensetningsforholdet til belegget er generelt nær det til legeringsmålet som brukes [55], så det er lettere å oppnå det (Cr,Ti,Al) N kvartære belegget med jevn sammensetning. På grunn av de forskjellige forstøvningsytelsene til hvert element som utgjør legeringsmålet under sputterprosessen, er det imidlertid et problem med å velge sputtering av forskjellige elementer, så sammensetningsforholdet til belegget er fortsatt forskjellig fra legeringsmålet [56] . For tiden, i studiet av fremstilling av (Cr,Ti,Al) N kvartære belegg ved magnetronsputtering, er de mer vanlige legeringsmålene AlTi-mål og AlCr-mål.

IKS PVD-selskap, dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, DLC-beleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD-vakuumbeleggingslinje, nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e-post: iks.pvd@foxmail.com