Utviklingshistorie av molekylærpumpeutviklingshistorie

1. Tidlig molekylpumpe

I 1912 oppfant en tysk ved navn W.Gaede den første molekylære pumpe i verden, diameteren til rotoren er 50 mm, og det er 8 spor i forskjellige størrelser på rotorer. Den roterende hastigheten er 12.000 r / min, og pumpens hastighet er ca. 1,5 l / s. Arbeidsprinsippet for denne tidlige pumpe er det samme som for den moderne molekylpumpen, men den elimineres raskt på grunn av stor feil, slik at den ikke har blitt popularisert.

I 1926 utviklet M. Siegbahn en disk-type molekylpumpe i universitetslaboratoriet i Sverige. Dens struktur er lik den moderne molekylpumpens drag-type. Pumpehuset har spiralspor og rotoren er en plate. I 1939 produserte LE BOLD to pumper med en diameter på 540 mm. Sporens dimensjoner er 22mm x 22mm på innsiden og 22mm x 1mm på utsiden. Den roterende hastigheten er 3.700r / min og pumpens hastighet er 73L / s.

De tidlig molekylære pumper er alle molekylære pumper av trekkraft. Med ulemper med store volumer, lave pumpeshastigheter, små hull og mange feil, er det underlagt mange restriksjoner i bruk, og derfor kan den bare brukes i noen spesielle felt og ikke blitt popularisert.

2. Fødsel av turbomolekylære pumper

I 1957 oppfant W. Becker fra PFEIFFER GmbH i Tyskland en ny molekylær pumpe, kalt turbomolekylær pumpe. Horisontal struktur og pumpehulrum er utstyrt med dynamiske og statiske bladrader. Gassen går gjennom inntaksporten i midten av pumpen og strømmer gjennom sugekanalen til begge sider av pumpehuset. Den komprimerte luften tømmes av eksosporten etter at den er komprimert av bladet. Rotoren til denne turbomolekylære pumpe består av 19 bladrader. Som vist i figur 2 er diameteren 170 mm, den roterende hastigheten er 16 000 r / min, og pumpens hastighet er 140 l / s.

I 1966 utviklet SENCMA Corporation i Frankrike en vertikal turbomolekylær pumpe på 14 blad, rotordiameteren er 286 mm, rotasjonshastigheten er 12.000 r / min, og pumpens hastighet er 650L / s, noe som skaper den vertikale turbomolekylære pioneren.

Det er mange produsenter av molekylære pumper i Japan med sterk evne til å designe og produsere molekylære pumper. I 1971 utviklet Institutt for fysisk og kjemisk forskning i Japan en 13 roterende blader radmolekylær pumpe og en 12-stasjonær rotasjonsmolekylpumpe, rotordiameteren er 300 mm og den roterende hastigheten er 12 000 r / min. I 1990 utviklet Japans Osaka Vacuum Company først en storskala molekylepumpe med en pumpehastighet på 25.000 L / s.

For tiden er den grunnleggende strukturen av moderne molekylære pumper horisontal og vertikal. Den horisontale molekylpumpen har fordelene ved rotorens ensartede kraft, god lagerposisjoneringskraft, lang levetid, stasjonær rotorstilling under lagerutskifting og lett vedlikehold. Men monteringsprosessen av den vertikale molekylpumpen er enklere enn den horisontale molekylpumpen, så utviklingshastigheten til den vertikale molekylpumpen de siste årene er veldig rask.

3. Moderne molekylpumpe

Siden molekylpumpens fødsel har det vært en historie på nesten hundre år. Med den kontinuerlige utviklingen av ulike vitenskap og teknologi har molekylpumpeteknologien også gjort mange innovasjoner og gjennombrudd. Den moderne molekylpumpen er mer intelligent, fleksibel og effektiv.

De siste årene, med den raske utviklingen av kontrollteori og datateknologi og anvendt på molekylære pumper, har molekylpumper blitt styrt av datamaskin, og innså fjernkontrollen av pumpe. På samme tid, basert på informasjonsteknologi, har sikkerhets- og overvåkingssystemene ført til utvikling av molekylære pumper i retning av intelligens.

Pumpehastigheten er kjerneparameteren til molekylpumpen. Øk rotasjonshastigheten er en av de mest direkte metoder for å øke pumpens hastighet. Med utviklingen av den dynamiske balanseringsteknologien kan molekylpumpens rotor fungere jevnt i ekstremt høy hastighet. Og med utviklingen av materialvitenskap har materialet i molekylpumprotoren også endret, det kan være laget av hard aluminiumlegering, karbonfiber, titanlegering og andre materialer med høy hardhet, noe som forbedret rotasjonshastigheten til rotoren ytterligere.

I de senere årene, med utviklingen av halvlederindustrien, må molekylpumpen kontinuerlig avgjøre en stor mengde gass i et høytrykksmiljø og sikre rent vakuum i mange tilfeller. Utførelsen av tradisjonelle turbomolekylære pumper i dette miljøet har falt mye, og det er vanskelig å garantere designresultatene. For å gjøre molekylpumpen tilpasning til arbeidsmiljøet med høyt trykk, tilsettes den molekylære pumpemodulen på den opprinnelige turbomolekylpumpen, og turbomolekylpumpen og den tilhørende molekylpumpen kobles i serie for å danne en komposittmolekylær pumpe ( som vist i figur 3) med fordelene med både turbo-molekylpumpen og den bakre molekylpumpen.

I tillegg har det oppstått en rekke nye molekylpumper i de siste årene, som for eksempel lavmolekylære pumper som effektivt kan trekke ut vannmolekyler, keramiske molekylpumper som kan operere under sterke magnetfelter og sterke korrosjonsforhold og magnetiske suspensjonsmolekylære pumper med fordeler av kontaktløs støtte, høy effektivitet og høy levetid.