Effekt av metalldoping på Ta-C indre stress (dopete metalltyper: Cu, Ti, Fe)

Effekt av metalldoping på ta-C indre stress (dopete metalltyper: Cu, Ti, Fe)

1, når metallinnholdet er lavt, er andelen hardhetsreduksjon mindre enn andelen spenningsreduksjon, når dopingmengden er svært liten, er friksjonskoeffisienten i utgangspunktet uendret. 2, hardheten til filmen med dopet metallinnhold av endringen av forholdet er i utgangspunktet den samme, enda viktigere, doping forskjellige metallelementer, er hardhetsverdien veldig nær.

Etter Ar ion assistert, har overflateruheten blitt kraftig forbedret, og kan nå Ra{{0}}.4nm. Etter Ar+-behandling blir overflaten av filmen jevn og flat, og friksjonskoeffisienten reduseres fra 0.14 til 0,1. ta-C hardhet 5500Hv, elastisitetsmodul 430GPa, spenning 2,1GPa, tykkelse 1,5μm; Levetiden til ta-C-film økes med omtrent 100 ganger.

Hva er silisiumkilden for silisiumdopet DLC?
SiC som inneholder mindre Si

IKS PVD-selskap, dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, DLC-beleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD-vakuumbeleggingslinje, nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e-post: iks.pvd@foxmail.com