Feilanalyse av høyspent strømforsyning av PVD Vakuum Coating Machine
Feb 27, 2019| Feilanalyse av høyspenningsforsyning av PVD vakuumbeleggsmaskin
Med utvikling av vitenskap og teknologi har anvendelsen av fotoelektrisk teknologi vært dypt inn i alle samfunnslag. Vakuum belegg maskin er mye brukt i produksjon og utvikling av elektroniske komponenter industrien. Nedenfor er en kort introduksjon av vakuumbelegningsmaskinen til høyspenningsaggregatet del av den typiske feilen.
Feil:
1, ved økning av elektronstrålen, indikerte høytrykket ikke at plasseringen av strålepunktet ikke befinner seg i midten, og elektronstrålen treffer kanten av smeltedigelen, noe som resulterer i høyt trykk uten indikasjon; (2) plasseringen av stedet i midten, dampet materiale er ødelagt, noe som resulterer i høyt trykk uten indikasjon.
2, ingen stråle, høy spenning indikasjon ustabil belastning problem; (2) normal belastning, høyspenning strømforsyning problem; (3) det er forurensning i vakuumrommet. Hvis vakuumkammeret er forurenset, kan elektronpistolen, smeltedigelen og høytrykkselektroden rengjøres grundig. Hvis ikke, kan delene og klokkebeholderen rengjøres grundig
Elimineringsmetoder:
Bruk høyspentmåleren til å måle utspenningen til høyspenningsdelen og kontrollere om den er normal. Hvis det er normalt, bruk erstatningsmetoden eller andre metoder for å kontrollere om hovedbryterkretsen på den automatiske tilbakestillingsdelen er normal. Hvis det er unormalt, indikerer det at det er kretsproblemet i denne delen. Eliminer feilen og returner høyspenningsindikatoren til normal.