Påvirkning av magnetronforstøvningsprosessparametere: Målforstøvningskraft

Påvirkning av magnetronforstøvningsprosessparametere: målforstøvningskraft

I likhet med effekten av å endre målstrømmen, kan elementinnholdet og strukturen til det (Cr,Ti,Al) N-kvartære belegget også justeres ved å endre sputterkraften til målet. Studier har vist at med økningen av Cr-målforstøvningskraften, har Cr-innholdet i belegget en tendens til å øke, og overflatekvaliteten til filmen vil også bli forbedret [66]. Årsakene til den forbedrede overflatekvaliteten til filmen er som følger: på den ene siden, med økningen av forstøvningskraften til Cr-målet, vil et stort antall høyenergi-Cr-partikler sputteret kollidere med Al-dråper som er utsatt for metallklynger under fly, redusere størrelsen på dråpene og gjøre partiklene avsatt i underlaget finere, og dermed forbedre overflatekvaliteten til belegget. På den annen side, med økningen av forstøvningskraften til Cr-målet, øker energien til de sputterte Cr-partiklene, noe som resulterer i anti-sputtereffekten på belegget, som også vil føre til reduksjon av partikler på overflaten av belegg. De eksperimentelle resultatene viser også at med økningen av Cr-innholdet, raffineres kornene av (Cr,Ti,Al) N-belegg og mikrostrukturen blir tett, og det korrosive mediet er vanskelig å trenge inn i det indre gjennom hulrommet, nålehullet og spalte av grensen mellom de søyleformede eller fibrøse kornene i belegget, slik at korrosjonsmotstanden til (Cr,Ti,Al) N-belegg forbedres. I tillegg fant forskerne at med økningen av Cr-innholdet, ville høytemperatur-oksidasjonsmotstanden til (Cr,Ti,Al) N-kvartære belegg også bli tilsvarende forbedret. Dette er fordi jo høyere Cr-innhold i belegget, jo mer rikelig er 2O3-faseinnholdet i oksidlaget (Cr,Al), det kontinuerlige og tette CR-Al-oksidlaget kan ikke bare begrense diffusjonen av titanatomer til overflaten av filmen, men forhindrer også effektivt diffusjon av oksygenatomer til innsiden av filmen, for å forhindre at innsiden av belegget blir ytterligere oksidert. Høytemperaturoksidasjonsmotstanden til (Cr,Ti,Al) N kvartære belegg er forbedret.

IKS PVD-selskap, dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, DLC-beleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD-vakuumbeleggingslinje, nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e-post: iks.pvd@foxmail.com