Vedlikeholdsstrøm av vakuumbelegningsmaskin

Først og fremst må det sikres at belegningsmaskinen er i full kontakt med bakken. Sprøytepumpen og oljepumpen må kobles til kjølevannet før oppvarming og slå på holdepumpen. I tillegg skal holdepumpen opprettholdes i en halv time etter at diffusjonspumpen og boosterpumpen stopper arbeidet. Vannet skal kuttes av etter en time. Men hvis pumpen ikke er avkjølt til under 80 ° C, må kjølevannet ikke kuttes for å hindre at pumpekjernen blir brent.

Både diffusjonspumpe og boosterpumpe har standby-vannuttak. Hvis belegningsmaskinen eller strømmen mislykkes, må standbyutløpet brukes til å avkjøle diffusjonspumpen og boosterpumpen. Før belegget skal alt utstyr kobles til kjølevannssystem for å hindre at elektrodene og substratet blir brent. Diffusjonspumpe og oljepumpepump må ikke komme i kontakt med atmosfæren under oppvarming for å unngå oksidasjon av pumpoljen. Kontroller og juster vannstrømningsreléet regelmessig for å se om vannlåsningsalarmen er normal, og sørg for at utstyrets kjølevannstilførsel ikke er blokkert. Når du demonterer og monterer beleggdeler, må du passe på å beskytte tetningsflatene fra mekaniske riper eller skader for å sikre pålitelig tetningsevne på beleggingsmaskinen.

De vakuumforseglede delene av overføringsakselen er alle forseglet i form av "rammeoljetetninger." Rammeoljetetningene er fylt med vakuumfett og diffusjonspumpeolje med svært lavt mettet olje-damptrykk. Det vil gå ut en stund og må fylles med samme vakuumfett og diffusjonspumpeolje. Vær oppmerksom på at du aldri bruker andre oljer i stedet.