PECVD gass- og strømningskontrollsystemer

Gassforsyningen til PECVD-systemet leveres nesten alltid av gassflasker, som er plassert i et gassskap med mange sikkerhetsinnretninger, og levert til prosesskammeret til PECVD gjennom kontrollpanelet på gassskapet og rørene.

I avsetningen vil mengden av reaksjonsgassen påvirke avsetningshastigheten og dens ensartethet, så det er nødvendig å strengt kontrollere gasstrømmen, og massestrømsmåleren brukes vanligvis for å oppnå nøyaktig kontroll.

IKS PVD-selskap, dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, DLC-beleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD-vakuumbeleggingslinje, nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e-post: iks.pvd@foxmail.com