PECVD vakuum- og trykkkontrollsystemer

PECVD Vakuum- og trykkkontrollsystemer inkluderer mekaniske pumper, molekylære pumper, grovekstraksjonsventiler, frontventiler, portventiler, vakuummålere osv. For å redusere påvirkningen av nitrogen, oksygen og vanndamp på avsetningsprosessen, er vakuumsystemet generelt sett. vedtar tørr pumpe og molekylær pumpe for pumping, tørr pumpe for å pumpe lavt vakuum, sammenlignet med den ofte brukte mekaniske oljepumpen, kan unngå olje og gass i oljepumpen inn i vakuumkammeret for å forurense underlaget. Etter at tørrpumpen er pumpet under et visst trykk, åpnes portventilen og høyvakuumet pumpes med molekylpumpen. Den molekylære pumpen er preget av sterk vakuumpumpekapasitet, spesielt evnen til å fjerne vanndamp er veldig sterk.

IKS PVD-selskap, dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, DLC-beleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD-vakuumbeleggingslinje, nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e-post: iks.pvd@foxmail.com