Forholdsregler ved kjøp av en vakuumpumpe

1. Det bør være klart at hvorvidt vibrasjonen som genereres av vakuumpumpen, har effekt på prosessen og miljøet. Hvis prosessen ikke tillater det, velg en ikke-vibrerende pumpe eller ta anti-vibrasjonsmålinger.

2. Forstå gassens komponenter som pumpes. Slik som om pumpen inneholder kondensable damp eller støvpartikler. Hvorvidt gassen er etsende eller ikke. Når du velger en vakuumpumpe, må du kjenne gassammensetningen og velg deretter riktig pumpe i henhold til pumpet gass. Hvis gassen inneholder damp, partikler og korrosive gasser, skal tilleggsutstyr som kondensatorer, støvopsamlere etc. installeres på pumpens innløpsledning.

3. Vakuumpumpen skal kunne tømme all gass som genereres under vakuumutstyrsprosessen under sitt arbeidstrykk.

4. Den riktige kombinasjonen av vakuumpumper. På grunn av den selektive pumpingen av vakuumpumpen, kan en pumpe noen ganger ikke oppfylle pumpekravene. Derfor må flere typer pumper kombineres for å tilfredsstille pumpingskravene ved å støtte hverandre.

For eksempel har titansublimeringspumpen en høy pumpeshastighet for hydrogen, men den kan ikke pumpe helium, og en trepolet sputtering-ionpumpe (eller en bipolar asymmetrisk katodsputtering-ionpumpe) har en viss pumpingshastighet for argon. Kombinasjonen av disse to pumper vil sikre vakuumanordningen en bedre grad av vakuum.

I tillegg kan noen vakuumpumper ikke fungere under atmosfærisk trykk, og de krever prevakuum; Noen vakuumpumper har lavere uttakstrykk enn atmosfæretrykk og trenger en bakpumpe, så de må alle kombineres.

5. Støvsugerutstyr for oljeforurensning. Hvis utstyret strengt ikke krever olje, bør det brukes forskjellige oljefrie pumper, for eksempel vannringpumper, molekylsikt adsorpsjonspumper, sputter ionpumper, kryogenpumper, etc. Hvis kravene ikke er strenge, bør olpumper brukes med Noen forurensningsforebyggende tiltak som for eksempel kaldfeller, baffler og oljefeller ...

6. Velg riktig vakuumpumpens arbeidssted. Hver pumpe har et arbeidstrykkområde. Derfor bør driftspunktet til pumpen velges innenfor dette området i stedet for å gjøre pumpen langvarig på 25 ~ 30mmHg.

7. Hvordan oljedampen fra vakuumpumpen påvirker miljøet. Hvis miljøet ikke tillater forurensning, kan det velges en oljefri vakuumpumpe eller oljedampen kan slippes utendørs.

8. Arbeidstrykket til vakuumpumpen skal tilfredsstille det maksimale vakuum- og arbeidstrykkskravene til vakuumutstyret.

9. Vakuumpumpe pris, drift og vedlikeholdskostnader.