Valget og funksjonen gasstanken og vedlikehold pumpen

På grunn av den lange oppstartstid av diffusjon pumpen og økte oljepumpe, i periodisk styres utstyret når lasting og lossing, for å forkorte tiden som arbeider uten å kutte av diffusjon pumpen og økte oljepumpe, høy vakuumventil er pre rørledning ventilen er stengt for å gjøre den viktigste pumpen i normal drift. Siden ventilen har alltid en svært liten mengde luftlekkasje og overflate deflasjon, øker trykket ved utløpet av den viktigste pumpen over en tidsperiode. Hvis den overstiger maksimal utslipp presset av viktigste pumpen og returnerer til pumpen, vil olje damp oksidere.

For å løse dette problemet, en tilnærming er å bruke støtte pumpen å pumpe ut viktigste pumpe utslipp gassen, men denne gangen mengden gass utskrevet fra viktigste pumpen er svært liten, og det er et fenomen at støtte pumpen er overqualified og w astes mye energi. Så en annen metode kan brukes, stoppe arbeidet med backing pumpen, lukke ventilen av foreline og angi en vedlikehold pumpe eller gass tank ved utløpet av viktigste pumpen, noe som sikrer at gassen i viktigste pumpen kan være utladet og lagret energi. Gasstanker kan ikke være for stor, det kan bare brukes på små systemer som bruker diffusjon pumpe som viktigste pumpen, mens holde pumpen kan brukes på en stor viktigste pumpesystem. En annen funksjon av lagertankens gass er at noen mindre søknad utstyr tillater ikke vibrasjoner i sin prosess, dvs støtte pumpen må stoppes under prosessen, på dette tidspunktet gasstanken brukes til å lagre gass utskrevet fra viktigste pumpen sikre kvaliteten på behandlet arbeidsstykket under prosessen.

Beregningen av volumet av gass lagertankens for anti-vibrasjon formål er basert på det faktum at gassen slippes fra vakuum kammeret av diffusjon pumpen helt utladet i gasstanken, forårsaker trykket i tanken å øke med mer enn maksimalt eksos press ved utløpet av diffusjon pumpen.

Volumet av lagertankens gass for å lagre og forkorte arbeider perioden beregnes basert på følgende betraktninger: Når støtte pumpen stopper arbeider og diffusion pumpen er fortsatt i normal drift, diffusjon pumpen utslipp gassen til gasstanken. Gasskilde nå er lekkasje infusjonshastigheten mellom høy vakuum ventilen på mengden av diffusjon pumpen og foreline ventilen ved utløpet av diffusjon pumpen, og overflaten deflasjon flyten i intervallet. Disse flyt føre trykket ved utløpet av diffusjon pumpen øker, men det kan ikke overskride maksimalt eksos presset av diffusjon pumpen.

Hensikten med å bruke vedlikehold pumpen er å spare energi. Det ligger ved utløpet av olje damp flyt pumpen, generelt parallelt med pre-scenen mekanisk pumpen. Det er den samme typen pumpe som backing pumpen. Erfaring har vist at opprettholde pumpe pumper hastigheten kan være en tiendedel av pumping hastigheten på backing pumpen. Bruke en vedlikehold pumpen kan spare mye energi og redusere støy fra omgivelsene.