Den beste lekkasjedeteksjonsteknikker for PVD-beleggingsmaskin

Boble Metode Detection

PVD-belegningsboble-metoden deteksjon er foretrukket for PVD beleggbeholdere eller innretninger som behandles. PVD-belegning av boblemetode-deteksjon betyr å fylle den testede delen med en viss trykklekkings-indikasjonsgass, og deretter sette den testede delen i væsken. Gassen kommer inn i den omkringliggende væsken gjennom lekkasjen for å danne bobler. Og stedet hvor det er bobler er plasseringen av lekkehull. Videre kan lekkasjehastigheten til hullet estimeres i henhold til formasjonshastigheten og størrelsen på boblene, samt de fysiske egenskapene til lekkasjen indikasjonsgassen.

Dekning Metode Detection

Dekningsmetode Deteksjon refererer til en metode som dekker hele PVD-belegget med en etylenplastpose (deksel), og deretter fyller posen med helium, det vil si hele vakuumbeholderen nedsenkes i heliumet for lekkasjedeteksjon. Etter å ha evakuert gassen helt, må hovedventilen, grovventilen og lekkasjen slås av. Og bruk deretter en BA ioniserings vakuummåler for å måle endringen i trykkstigning for å avgjøre om det er lekkasje.

PVD-belegget er summen av trykkstigningen på grunn av gasslekkasje og trykkstigning forårsaket av avgassingen av materialet, og til slutt er det en lineær økning som er proporsjonal med tiden. Når PVD-belegningskurven utviser en slik tilstand som beskrevet ovenfor, betyr det at enheten lekker. Når det ikke er lekkasje og bare materialgassingen, bør kurven være mettet. Hvis det bare er lekkasje uten materialavgassing, er det en rett linje som er proporsjonal med tiden i begynnelsen.