Drivsystemet og kjølesystemet av PVD-beleggingsutstyr

Kjøresystem

Drivsystemet gjør at substratet kan strømme fra å sette substrat inn i enheten for å sputtere avsetning, for å komme ut av enheten etter fullføring av behandlingen. Drivsystemet består av drivmotor, rullehjul, frekvensomformer og så videre. Årsakene til å legge til stasjonssystemet er:

(1) Kontroller at de ensartede tykkelsesbeleggene er bredt fordelt.

(2) Lett å realisere automatisert overføring.

Kjølesystem

Kjølesystemet består hovedsakelig av målsirkulerende vannmolekylpumpe, kammer, pumpegruppe og kjølemotorens kjølesirkulerende vann. Hovedfunksjonen er å avkjøle vakuumkammeret, pumpen, stasjonen, strømforsyningen, etc. Kravene til kjølevann er:

(1) Temperatur: 17-22 ° C;

(2) Trykk: 2 ~ 3e0.05Pa;

(3) De magnetiske partiklene skal fjernes fra vann, og vannet skal mykes, pH = 6 ~ 8.