Skriv ut valg av vakuum enhet
Jun 30, 2018| 1. Sammensetning og klassifisering av vakuumaggregater
Vakuumenheten består vanligvis av følgende komponenter: ulike vakuumpumper, vakuummåleanordninger, vakuumventiler, vakuumrør og noen andre komponenter som blåsere, vakuumledd, gasslagertanker, bellows, støvsamlere og vakuumreléer.
I henhold til arbeidstrykket til enheten er det grovvakuumaggregater (> 1330Pa), lavvakuumaggregater (1330 ~ 0.13Pa), høyvakuumaggregater (0,13 ~ 1,3x10-6Pa), ultrahøyvakuumaggregater (1,3x10-6 ) ~ 1,3 × 10-11 Pa) og meget høyvakuum enhet (<1,2 ×="" 10-11="">
2. Lav vakuum enhet
Hovedfunksjonene til lavvakuumaggregatet er høyt arbeidstrykk og stor forskyvning, men pumpens hastighet er lavere enn for høyvakuumenheten. Det brukes mest for grov pumping av vakuumkammer og noen vakuumaggregater som krever høyt arbeidstrykk, for eksempel vakuumutladningsenheter, vakuumimpregneringsenheter, vakuumfilter enheter, vakuumavgassingsaggregater, vakuumtørker og så videre. Hovedpumper av lavvakuumaggregatet er ofte gjengjeld vakuumpumper, oljetetningsvakuumpumper, vannstrålepumper, vanndampstrålepumper, vannringpumper, oljedampstrålepumper, molekylsikt adsorpsjonspumper og rotpumper. Ved bruk av en vakuumaggregat er det også nødvendig å konfigurere komponenter som en støvsamler og et tørrfilter i henhold til prosesskravene for renhetsgrad og fuktighet i gassen som skal pumpes.
3. Høy vakuum enhet
3.1 Velg hovedpumpen. Hovedpumpen kan være diffusjonspumpe, molekylpumpe, sputter ionpumpe, titanpumpe, kryogenpumpe og så videre.
3.2 Velg bakpumpen og gasslagringsrøret (støtsikker, forkort arbeidssyklusen, forhindrer stor utlufting i vakuumkammeret og stabiliser utløpstrykket til diffusjonspumpen)
4. Ultra høy vakuum enhet
Det ultimate støvvakuumet til hovedpumpen er høyt, lekkasjen er lav, og det er motstandsdyktig mot baking ved 200-450 ° C.
4.1 Diffusjonspumpe: redusere tilbakeslag og kontroll forurensning.
4.2 Molekylpumpenhet: Kompresjonsforholdet til hydrogen er lite, og gjenværende gass er hovedsakelig hydrogen.
4.3 Sputter ion pumpenhet: Brukes vanligvis i kombinasjon med en titanpumpe.
4.4 Kryogenpumpe: ingen forurensning.