Typisk vakuumsystem

Systemet som brukes til å oppfylle visse prosesskrav, som er i stand til å oppnå og måle det spesifikke nødvendige vakuumet, kalles vakuumsystem. Et mer komplett vakuumsystem består av vakuumkammer, nødvendig vakuumpumpe eller vakuumenhet, vakuummåler, tilkoblingsrør, vakuumventil, felle og andre vakuumkomponenter og elektrisk styringssystem. Typisk vakuumsystem er vist i figur 1 og figur 2.

1. Vakuumkammer bløtventil 2. Ioniseringsvakuummåler 3. Termokoblingsvakuummåler 4. Strømreguleringsventil

5. Høyvakuumventil 6. Diffusjonspumpe 7. Gass oppbevaringstank

8. Termoelementmåler (måler diffusjonspumpe før-trinns trykk) 9. Backventil 10. Trykkføler

11. Prepumpeventil 12. Roots vakuumpumpe 13. By-passventil 14. Elektromagnetisk avluftningsventil

15. Mekanisk vakuumpumpe

Fig. 1 Skjematisk diagram av et typisk vakuumsystem

1. Vakuumkammer 2. Ionisering vakuummåler 3. Termoelement vakuummåler 4. Deflation ventil

5. Høyvakuumventil 6. Kaldfelle 7. Diffusjonspumpe 8. Bakventil 9. Elektromagnetisk avluftningsventil

10. Mekanisk vakuumpumpe 11 Prepumpeventil

Fig. 2 Skjematisk diagram av et typisk vakuumsystem