Lavtrykk ΠMFC Massestrømskontroller - PFC-20
PFC-20, lavtrykks-πMFC-massestrømskontrolleren gir maksimal utnyttelse av sikre leveringsgass. Implementering av lavt trykk πMFC øker verktøyets oppetid ved å redusere frekvensen av kildegassflaskeendringer. Det gir nøyaktig og presis kontroll av lav gass ...
- produkt introduksjon
INTRODUKSJON
PFC-20, lavtrykks-πMFC-massestrømskontrolleren gir maksimal utnyttelse av sikre leveringsgass. Implementering av lavt trykk πMFC øker verktøyets oppetid ved å redusere frekvensen av kildegassflaskeendringer. Det gir nøyaktig og presis kontroll over lave gassstrømmer over et bredt trykkområde med kildegas leveringstrykk så lavt som 4 Torr.
Denne πMFC er den nyeste i MKS-produkter designet spesielt for SDS- og VAC®-kildegasser som betjener ionimplantasjonsindustrien. Den patenterte ventil- og sensorteknikken gir eksepsjonell null stabilitet og nøyaktighet for alle strømningsforhold, samtidig som man opprettholder evnen til raskt å oppnå settpunktet og kontrollerer gassstrømmen gjentatte ganger. Standard størrelse MFC-fotavtrykk og kontroll I / O er kompatible med eksisterende gasslinjer for enkel integrasjon og drift.
FUNKSJONER OG FORDELER
◆ Maksimerer SDS-kildegassutnyttelse som reduserer flaskeendringer, noe som resulterer i høyere verktøyoppetid og lavere kostnadseier
◆ Kontrollerer gjentatte ganger lave gasstrømmer som gir redusert gassforbruk ved hjelp av parametere som er optimalisert for implantatkildeapplikasjoner
◆ Digital kontrollsløyfe gir rask respons på settpunktsminimering av prosess syklus tid
◆ Øker verktøyets oppetid gjennom reduksjon av "No Problem Found": MFC utskiftninger
- Inkludert innebygd diagnostikk og programvare som lar brukere kontrollere MFC-funksjonaliteten uten å fjerne MFC-en
-E-diagnostikk via innebygd Ethernet-grensesnitt gjør det mulig å overvåke ytelsesparametere under drift
◆ Direkte form-fit-funksjon erstatning for de fleste vanlige MFC-er
◆ Reduserer varekostnadene ved hjelp av multi-gass, multi-range kapasitet
◆ Enkel konfigurasjon og diagnostikk gjennom Ethernet-grensesnitt
- Bruker standard nettleser - ingen spesiell programvare kreves
- Inkluderer eksternt PC-program
◆ Bright roterbar LED-skjerm gir enkel visning av strømningshastighet, gass type, full skala strømningsområde, temperatur og Ethernet-adresse
DIMENSIONAL TEGNING OG PINOUTS
SPESIFIKASJON
| Opptreden | ||
| Fullskalaområder (N 2 ekvivalent) | 2-20 sccm | |
| Inntak Trykkområde | 4 - 1200 Torr (med vakuum ved utløpet) | |
| Normal Driftstrykk Differensial (N 2 ekvivalent) | <10 torr="" ved="" fs-strømning="" (med="" vakuum="" ved=""> | |
| Maks. Trykktrykk | 150 psig | |
| Burst Pressure | 1500 psig | |
| Kontrollområde | 2 til 100% av FS | |
| Typisk nøyaktighet | ± 1% settpunkt for> 10 til 100% FS og ± 0,2% av FS for 2 til 10% av FS ved innløpstrykk> 20 Torr | |
| repeterbarhet | 0,2% av FS | |
| Vedtak | 0,1% av lesingen | |
Temperatur koeffisienter | Null | ± 0,08% FS / ° C |
| span | ± 0,08% av Rdg / ° C | |
Kontroller Settling Time (per Semi Guideline E17-0600) | <2> typisk over 10% av FS ved innløpstrykk> 10 Torr | |
Oppvarmingstid (til innen 0,2% av FS med stabil ytelse) | <30> | |
| Normal driftstemperatur | 10 til 50 ° C | |
| Lagring Fuktighet | 0 til 95% Relativ fuktighet, ingen kondensering | |
| Lager temperatur | -20 til 65 ° C | |
| Temperaturvisning | 0 til 100 ° C | |
| Temperaturavlesningsenheter | ° C | |
| Temperaturnøyaktighet | ± 2 ° C | |
| Temperaturoppløsning | 0,1 ° C | |
| Mekanisk | ||
| fittings | Swagelok ® 4 VCR ® | |
| Vise | 4 siffer for verdi, 4 tegn for enhet | |
| Lekkintegritet | Ekstern (scc / sek He) | <1x10> |
| Gjennom Lukket Ventil | <1,0% fs="" ved="" 25="" psig="" til=""> | |
Wetted Materials Standard | 316 SS VAR (tilsvarende 316 SS SCQ for halvlederkvalitet), 316 SS, Elgiloy, KM-45, NiTi | |
| Overflatefinish | 5 mikroinch gjennomsnitt Ra | |
| Vekt | Mindre enn 2 kg. (0,9 kg) | |
| Elektrisk | ||
| kontakter | Analog (strøm og I / O) | 9 pin D mannlig eller 15 pin D mannlig |
| diagnostikk | Ethernet | |
| Inngangsspenning | 15-24 VDC ± 5% VDC @ 350mA peak, 250 mA steady state | |
| Set Point Command Signal | 0 til 5 VDC | |
| Utgangssignal | 0 til 5 VDC | |
Populære tags: lavt trykk πmfc massestrømskontroller - pfc-20, Kina, produsenter, leverandører, kjøp, tilpasset, laget i Kina
