Høyvakuumsystem

Høyvakuumsystem
Høyvakuumsystemet er mye brukt, og arbeidstrykkområdet er generelt 1,33×10-2 ~ 1,33×10-3Pa. Vanlige pumpesystemer er:
(1) Diffusjonspumpeseriens mekaniske pumpevakuumsystem. Som vist i figur 5-2 kan dette systemet oppnå et vakuum på 10-2 ~ 10-5Pa, som vanligvis brukes i påføringsutstyr med relativt liten eksosgass under drift. Systemet har fordelene med en enkel struktur, pålitelig drift og lave kostnader. Ulempen er at systemet starter sakte og fortrekkstiden er lang. Oljedampen til diffusjonspumpen er lett å tilbakestrømme inn i vakuumkammeret.
(2) diffusjon pumpe serie olje booster pumpe, og deretter serie mekanisk pumpe vakuum system. Systemet har en kort pre-draw tid, men en treg start.
(3) diffusjon pumpe serie Roots pumpe, og deretter serie mekanisk pumpe vakuum system. Det er tregt å starte, men forpumpetiden er kort.

IKS PVD-selskap, dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, DLC-beleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD-vakuumbeleggingslinje, nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e-post: iks.pvd@foxmail.com