Ultra-høyvakuum pumpesett

Ultra-høyvakuum pumpesett
Den ultrahøye vakuumenheten fungerer i området for ultrahøyt vakuumtrykk på 10-6 ~ 10-10Pa, i tillegg til kravet om at materialet i vakuumkammeret har en svært lav gassutgangshastighet, en svært liten gasslekkasjehastighet, og tåler 200 ~ 450 grader høy temperatur baking, kravene til enheten inkluderer også:
(1) den endelige vakuumgraden til hovedpumpen bør være høy, minst 10-7 ~ 10-8Pa ovenfor;
(2) Hovedpumpen har en viss pumpehastighet innenfor arbeidstrykkområdet til det ultrahøye vakuumet;
(3) Hovedpumpen til enheten eller delen over hovedpumpens luftinntak tåler høytemperaturbaking på 200 ~ 450 grader;
(4) Partialtrykket til tilbakestrømningsgassen (inkludert arbeidsvæskedampen og den oppløste gassen) til den autonome pumpen bør være lavt nok;
(5) Hovedpumpen med sterk selektivitet for pumpet gass bør være utstyrt med en tilstrekkelig stor hjelpepumpe;
(6) Rør, ventiler og andre komponenter over inntaksporten til hovedpumpen til enheten, valg og forsegling av materialer bør være spesielt nøye. Generelt brukes rustfritt stål med lav gassutgangshastighet og metallforseglingsstruktur og tetningsmaterialer.

IKS PVD-selskap, dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, DLC-beleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD vakuumbeleggingslinje, nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e-post: iks.pvd@foxmail.com