Indre Stress og måling av PVD vakuum belegg

1. stress introduksjon

Når objektet er deformert skyldes eksterne årsak (stress, fuktighet, etc.), indre krefter samspill mellom deler av objektet å motstå virkningene av denne eksterne faktoren, og gjenopprette objektet fra stillingen etter deformasjon posisjon før deformasjon. Intern makt av området på et punkt i tverrsnittet kalles stress. Normal stress er vinkelrett tverrsnittet, og skjær stress er tangenten til tverrsnittet. Stress øker som ytre krefter øker. Det er en grense for veksten av stress for et bestemt materiale, og over denne grensen, materialet vil bli ødelagt.

For noen materialer, stress kan nå dette grensen kalles ultimate stress materialer. Ultimate stress verdien bestemmes av mekanisk testen av materialet. Målt makt bør være hensiktsmessig å redusere grensen, maksimal stress et materiale i stand til en forhåndsbestemt sikkerhet, som er tillatte stress. Hvis materialet skal brukes trygt, stress i det bør bruk være lavere enn grensen stress, ellers materialet vil bli skadet når den brukes.

Det er en slags stress kalt indre stress, det vil si når det er ingen eksterne kraft, interne stress i objektet er interne stress. Og det er indre stress i PVD belegg. Skade av indre stress er svært store, så størrelse og graden av indre stress skal beherskes godt i produksjon. Hovedfunksjonen til PVD belegg er som et slitesterkt beskyttende belegg, som krever en viss tykkelse og levetid, men det indre stresset i belegget begrenser tykkelsen på belegget.  Hvis elastisk energien i enhetsvolumet produsert av interne stress overskrider brudd energi per arealenhet, vil belegget falle av, slik at tykkelsen av avsatt belegget er begrenset. Generelt, det indre stresset, modulus av elastisitet og hardhet av belegget er proporsjonal med hverandre. Derfor under produksjonsprosessen, bør belegget, spesielt det indre stresset, stress kontrolleres av fysisk vanndamp deponering prosess. Etter belegg, bør interne stress belegget være oppdaget, slik at de kan tas imot innenfor gyldig område.

2. Trykk testmetoden

(1) X-ray og elektron Diffraksjon

Når belegget er i stress tilstand, gitteret vil forvrenge og gitter konstant endres. Derfor kan endring av Diffraksjon linjebredden i gitteret konstant måles ved X-ray og elektron Diffraksjon. Stress belegget kan beregnes i henhold til en bestemt formel.

(2) prøven deformasjon analyse

Ene enden av en svært tynn rektangulære glass stykke er fast i vakuum kammeret av belegg apparater, og deretter belagt på en overflaten av arket. Belegg stresset får deformasjon av gratis slutten av arket, og arket er målt med en telelinse måle mikroskop. Hvor mye forskyvning på gratis slutten beregnes deretter basert på mekanisk formel av materialet.

(3) optisk interferometry

Bruke optisk interferometry for å måle belegg stress forstyrrelser utkanten dannet mellom standard plate og ikke belagte substrat i interferometer, og deretter belagt på underlaget på grunn av belegg stress effekten, substrat overflate deformasjon, deretter måling av forstyrrelser utkanten dannet mellom standard plate og belagte substrat i interferometer, basert på forstyrrelser utkanten endringer, beregne belegg stress ved hjelp av formler for materielle mekanikk.

I mer enn et tiår,IKSspesialiserer seg på alle slags vakuum belegg søknad utstyr produksjon, dedikert til forskning og utvikling og produksjon av vakuum belegg machine, med den nyeste teknologien produsere tilfredsstiller stadig markedet vakuum belegg utstyr , gir kundene et tilpasset teknologi- løsninger