Innføring i metoden operasjonen vakuum belegg Machine

Vakuum belegg machine er et belegg instrument som skal operere på et høyere vakuum. Den er delt inn i to typer fordampning og sputtering.

Fordampning belegg er vanligvis oppvarming målrette materiale, som forårsaker overflaten komponentene i målet materialet pulverisert ved å Atom ion skjemaet og deponert på underlaget overflaten, danner tynnfilm gjennom prosessen med filmen formasjon.

Sputtering belegg bare kan forstås som bruk av elektroner eller høy energi laseren bombardement målet og gjøre overflaten komponentene i målet være sputtering i form av atomer eller ioner, og til slutt avsatt på overflaten av underlaget, forming tynnfilm gjennom filmen formasjon.

Bruk fremgangsmåten:

1. Bruk metoden for elektromekaniske kontroll skap for vakuum belegg

(1) åpne vann pumpe og luft kilde.

(2) aktivere av.

(3) åpne strømforsyningen holde pumpe og vakuummåler, vakuum gauge posisjonen V1 posisjon, vente på sin verdi som er mindre enn 10, og deretter angi neste operasjon. Sannsynligvis trenger fem minutter.

(4) slå på mekanisk pumpen, utføre pre pumping, åpne turbo molekylære pumpen strømforsyningen og start molekylære pumpen. Bryteren vakuum gauge endres til plasseringen av V2. Etter vakuum graden pumpes til mindre enn 2, stoppe pumpe, og det tar 20 minutter.

(5) når målingene av turbin molekylære pumpen er observert for å nå 250, pre pumping lukket, åpne deretter backing pumpen og høy vakuum ventiler fortsetter å evakuere. Bare etter vakuum når 2 × 10-3, kan strømforsyningen elektronisk maskingevær slås på.

2. Bruk av vakuum belegg machine

(1) slå på av.

(2) samtidig åpne den elektroniske våpenkontroll I og II strømforsyning: Ifølge den elektroniske pistol kontrollen strøm, forsinkelse bryteren, og deretter forsinkelse lyset, Forsterk lampe og beskyttelse lys, lys. Etter tre minutters forsinkelse lys og beskyttelse lampen deaktivere. Hvis bakdøren ikke er lukket eller flyt stafetten er feil, vil beskyttelse lyset alltid være på.

(3) åpne høytrykk, høytrykk vil nå mer enn 10KV, justere strålen til om 200mA, skjold rutenettet er 20V / 100mA, filament gjeldende 1.2a, nedbøyning gjeldende swing 1 ~ 1.7.

3. avslutningssekvensen av vakuum belegg machine

(1) slå av gauge antrekk og molekylære pumpen.

(2) når molekylære pumpen viser opp til 50, høy vakuum ventilen, pumpe og mekaniske pumper er stengt i rekkefølge. Sannsynligvis må 40 minutter.

(3) når molekylære pumpen viser mindre enn 50, lukker du holde pumpen.