En del av utstyret som belegg

Moderne belegg utstyret består hovedsakelig av vakuum kammer, vakuum oppkjøpet del, vakuum måling del, power supply del, prosessen gass innskrivingssystemet, mekanisk overføring del, oppvarming og temperatur måler enhet, ionisk fordampning eller sputtering kilde og vannkjølingssystem.

1. vakuum kammer

Belegg utstyret har hovedsakelig kontinuerlig belegg produksjonslinje og enkelt-kammer belegg machine i to former, på grunn av mold belegg har høyere krav til oppvarming og mekanisk overføring deler, og mold form, størrelse varierer mye, kontinuerlig belegg produksjonslinjen er vanligvis vanskelig å møte krav, skal brukes én-kammer belegg machine.

2. vakuum oppkjøpet del

Høy vedheft krav av belegget av mold deler, belegg prosessen før bakgrunn vakuum er fortrinnsvis høyere enn 6mPa og vakuum graden kan nå 0.06mPa eller mer etter belegget er prosessen fullført, slik at vakuum valgt er for å oppnå høy grad av vakuum avgjørende.

Inntil nå er det ikke en type som kan arbeide fra atmosfærisk trykk til nær ultra høy vakuum. Derfor oppkjøpet av vakuum er ikke et vakuum utstyr og metoden kan oppnås, det må kombineres med flere pumper, som mekanisk pumpe, molekylær pumpesystem, etc.

3. vakuum måling del

Delen vakuum måling av vakuum systemet er å måle trykket i vakuum kammeret. Som en vakuumpumpe, ingen vakuummåler kan måle utvalg av vakuum, og mange typer vakuum målere er laget etter ulike prinsipper og krav.

4. power supply del

Strømforsyningen målet omfatter hovedsakelig DC strømforsyning og mellomliggende frekvens strømforsyningen; arbeidsstykket selv trenger vanligvis DC strømforsyning, puls strømforsyningen eller radiofrekvens strømforsyning.

5. prosessen gass innskrivingssystemet

Prosessen gassen, som argon (Ar), krypton (Kr), nitrogen (N₂), acetylen (C₂H₂), metan (CH₄), hydrogen (H₂) og oksygen (O₂), vanligvis leveres av gass-sylinder, og da går inn i vakuum kammeret gjennom gasstrykket redusere ventil verden ventil rør, gass flowmeter, piezoelectric ventil, magnetventil.

Fordelen med denne gass innskrivingssystemet er at rørledningen er enkel, lett og enkel å reparere eller erstatte sylinderen. Hver belegg machine påvirker ikke hverandre, og det finnes også en rekke belegg maskiner som deler en gruppe sylindere, som kan brukes i noen større belegg workshops. Den har fordelene av å redusere gass-sylinder, enhetlig planlegging, enhetlig oppsett og ulempen er at sjansen for gasslekkasjer er økt på grunn av økningen av felles.

Hver belegg machine vil forstyrre hverandre og lekkasje av et belegg machine kan påvirke kvaliteten på andre belegg maskiner. I tillegg når du erstatter sylinderen, må det være sikre at alle de viktigste enhetene ikke brukes.

6. mekanisk overføring del

Verktøyet belegget krever ensartet tykkelse rundt, så det må være tre rotasjoner i belegg prosessen oppfyller kravene. Dvs mens tabellen store arbeidsstykket kreves rotere, tabellen liten arbeidsstykket roterer også, og arbeidsstykket selv kan rotere samtidig. Mekanisk design, den sentrale delen av dreieskiven er vanligvis en stor aktive utstyr, som er omgitt av en liten stjerne hjulet, og deretter veiskillet brukes rotere arbeidsstykket rotere.

7. oppvarming og temperatur måler enhet

Når mold belegg prosessen, for å sikre belegg arbeidsstykket varmes jevnt er mye viktigere enn oppvarming dekorative belegget. Mold belegg utstyr har vanligvis to varmeapparatet, thermocouple temperaturmåling og kontroll. På grunn av thermocouple kampen for forskjellige innstillinger, kan ikke temperaturen målingene være sant temperaturen på arbeidsstykket. For å måle sann temperaturen i arbeidsstykket, kan overflate termometeret (overflaten Thermomeer) brukes. Prinsippet om termometeret er at når termometeret er oppvarmet, bunnen av våren blir oppvarmet for å utvide, slik at pekeren til fremme plasserer pekeren rotasjonen til den maksimale temperaturen. Når kjøling, våren krymper og pekeren roterer reversert, men plasserer pekeren forblir på høyeste temperatur og temperaturen pekeren leses etter åpningen av vakuum kammer døren når vakuum kammeret er oppvarmet, hvor overflaten termometeret har nådd den høyeste temperatur-verdien.

8. ioniske fordampning eller sputtering kilde

Fordampning kilde multi bue plating er generelt rundskriv, kjent som runde kake målet, de siste årene har det vært mange rektangulære multi bue mål, men ingen åpenbart virkning. Runde kake målet er montert på kobber målet setet (katode setet), begge er forbundet med vrbord. Målet setet er utstyrt med en magnet, ved å flytte magneten frem og endre magnetisk feltstyrke, justerbar bue spot bevegelse hastighet og bane. For å redusere temperaturen på målet og mål holder, bør kjølevann kontinuerlig leveres til innehaveren av målet. For å sikre høy ledningsevne og termisk ledningsevne mellom målet og mål holder, kan tinn (Sn) pakningen legges mellom målet og mål.

9. vann kjølesystem

For å øke ionisering frekvensen av metall atomer, hvert katoden mål sendes ut på en stor makt, og derfor må være tilstrekkelig avkjølt. Mange typer mold belegg, varme temperaturen er 400 ~ 500℃, derfor på vakuum chamber veggen, tetting overflaten kjøling er også svært viktig, så kjølevann brukes i vann chiller ca 18 ~ 20℃.

Når døren ble åpnet, for å unngå lav temperatur vakuum chamber veggen, katoden mål og varm luft kontakt nedbør vann, åpne døren i de første 10 minuttene, kjølesystemet bør bytte til staten av varmt vann, varmt vanntemperatur er ca 40 ~ 45℃.