Ytelse og fordelene med en turbin molekylære pumpen

Turbo molekylære pumpen er bruken av høyhastighets rotasjon av bevegelige pumpehjulet skjedde momentum til gassmolekyler, gassen generert retningsbestemt flyt av denvakuumpumpe. Turbo molekylære pumpen hovedsakelig komponenter av pumpen kroppen, rotoren med blad (dvs. flytte pumpehjulet), statisk pumpehjulet og drive systemet.

Fordel

Som turbo molekylære pumpen i enkelte aspekter, er det bedre enn kryogene pumpen, ion pumpe og diffusion pumpen ytelse er overlegen. Derfor, i det generelle tilfellet, mer bruk av turbo pumper.

(1) ren, olje-fri Steam Reflux

Turbo molekylære pumpen kan operere uten noen godt og drive etter operasjonen reglene, som kan gi et rent vakuum miljø for beholderen pumpet og inneholder ikke hydrokarboner.

(2) praktisk å bruke

Mange programmer krever ikke turbo pumper høy vakuum ventiler eller grov vakuumventil ferdig. Bare trykk på knappen, pumpen kan begynne å arbeide, fra lufttrykk kan reduseres til endelig presset. Systemet kan være grov-pumpet av turbo molekylære pumper og kan akselereres opp til hastigheten. Dette eliminerer behovet for ventiler, rør, feller, ventil kontrollerer og andre vakuum komponenter. Det fjerner også av disse komponentene.

(3) sterk transportkapasiteten

De fleste turbo molekylære pumper har en sterk evne til å levere lette gasser som hydrogen og helium, noe som gjør dem ideelle for prosessen operasjoner under svært høy vakuum. En turbo molekylære pumpen spesialdesignet for fjerning av etsende gasser er egnet for etsing, reaktive ion etsing, ion strålen maskinering, lavt trykk kjemiske damp deponering, epitaxy og ion implantasjon prosesser. Under prosesser, kan evakuert gassen korrodere kryogene pumper, ion pumper, diffusjon pumpe olje, og selv ødelegge standard ubeskyttet turbo molekylære pumpene. Som turbo molekylære pumpen tilhører overføring pumpen, akkumuleres pumpet gassen ikke i pumpen, slik det passer for prosessen med høye gass belastning.

(4) egnet For Ultra høy vakuum programmer

En god turbo molekylære pumpen for tetting og avgassing er utstyrt med to-trinns Rotasjonspumpe med gode resultater (eller samme ytelse tørr før pumpen). Ultimate vakuum kan nå 10^-910^-10Torr (133.3 til 13,33 nPa). Hvis en turbo molekylære pumpen er koblet til en annen turbo molekylære pumpen bruker en metal-forseglet og godt degassed pumpe, er ultimate trykket vanligvis 1 × 10^-101 × 10^-11Torr (13,33 til 1,333 nPa) mellom. Og i motsetning til kryogene pumper eller ion pumper, turbo molekylære pumper operere i full pumping fart under svært høy vakuum forhold.

(5) god ytelse under høyt trykk

Vik presset av noen turbo molekylære pumper kan kjøre mellom 10^-1og 10^-3Torr (13,33 Pa til 133.3 mPa). I dette området, ion pumpen kan ikke brukes for kryogene pumpe måtte throttle pumping hastighet eller vanlig gjenfødelse, og arbeidet med diffusjon pumpen blir ustabil.

(6) kort syklustid

De fleste av turbo molekylære pumper, særlig mindre en, vanligvis trenger 1 ~ 3 minutter å nå normal kjører hastighet. Pumper for forskjellige typer og modeller er forskjellige og kan bli stengt ned umiddelbart og kan være utsatt for atmosfæren.

(7) normal bruk lenge

I noen programmer er i vanlig bruk turbo molekylære pumpen bedre enn i andre pumper. Tunge gass belastning og ventil lekkasje, vil føre kryogene pumpe ofte variabel intervall fornyelse eller ion pumpe reparasjon ofte, og turbo molekylære pumpen kan også brukes til å eliminere pumpe olje forurensning av vakuum kammeret.