Forholdsregler for kalibrering av ioniseringsvakuummåler

Vakuummåleren kan deles inn i en absolutt vakuummåler og en relativ vakuummåler i henhold til måleegenskapene. En absolutt vakuummåler er en vakuummåler som bestemmer trykket ved å måle den fysiske mengden selv. For eksempel er U-type trykkmåler, kompresjonstype vakuummåler det absolutt vakuummåler. Vakuummåleren som bestemmer trykket ved å måle en fysisk mengde relatert til trykk og sammenligne den med et absolutt vakuummåler kalles en relativ vakuummåler. Joniseringsvakuummåleren og kapasitansfilmvakuummåleren, varmeledningsvakuummåleren, som alle er de relative vakuummålerne.

Strukturen til ioniseringsmåleren er en sylindrisk triode med tre elektroder: katodemitterende, portakselererende elektron, samling av polaroppsamlingsioner. Den generelle katoden er pluss null potensial, gitteret er pluss det positive potensialet, og samleren er pluss negativt potensial.

M ainly fordeler :

• Mål total trykk på gass og damp.

• Hurtig respons, kontinuerlig avlesning og fjernkontroll.

• Bredt måleområde, god linearitet og høy måle nøyaktighet.

ulemper:

• Når trykket er høyere enn 10 ^-1 pa, det er lett å oksidere filamentet, og når systemet plutselig eksponerer atmosfæren, vil måleren bli brent.

• Feil ved deflation av glasspæren og elektroden fører til målefeilen.

Kalibrering av ioniseringsvakuummåler bør være oppmerksom på følgende seks punkter:

1. Når måleren er koblet til systemet, kobles den uforseglede måleren og målekretsene sammen for å kontrollere om måleren er normal og mottar systemet.

2. I kalibreringsprosessen, hvis det oppstår feil og uidentifisert, ta en uåpnet måler og vurder om det er et måleproblem eller et kretsproblem. Hvis det er normalt å bytte ut den uåpnede måleren, som indikerer at originalmåleren har problemer. hvis den uåpnede måleren fortsatt er unormal, noe som indikerer problemet med kretsen, og dermed begrenser omfanget av feilen.

3. Målerinstallasjonen skal installeres vertikalt. Under oppvarming og avgassing og baking vil nettverket og katoden deformere, og den relative posisjonen vil endres, noe som vil påvirke målingsnøyaktigheten alvorlig.

4. Før filamentet åpnes, kan det dømmes om vakuumet i vakuumsystemet er mindre enn 10 ^-1 pa, og deretter åpne filamentet. Hvis vakuumgraden er for lav, vil dette føre til at katoden av måleren oksideres og brennes.

5. Før du leser, bør utslippsstrøm, nullpunkt og full grad justeres først. De spesifikke trinnene er: utslippsstrøm - nullpunkt - full skala - utslippsstrøm.

6. Det ioniserende vakuummåler kan kalibreres med bare 10 minutter med forvarming.