Effekt av PVD-beleggproduksjonsprosess på beleggtykkelse

Det viktigste i PVD-beleggingsprosessen er klemmetoden, som bestemmer tykkelsen og ensartetheten av belegget. Og det er ingen tvil om at beleggets tykkelse påvirker levetiden. Imidlertid er det ikke jo tykkere belegget, desto bedre er dets forventede levetid. På samme arbeidsstykke krever forskjellige applikasjoner forskjellig tykkelse. Og forskjellig arbeidsstykke trenger også forskjellig tykkelse. Så, tykkelsen av belegget er viktig.

Tykkelsen på belegget bestemmes hovedsakelig av beleggingsprosedyren. Visse prosedyrer har et visst område av beleggtykkelse, og tykkelsen av belegget varierer vesentlig innenfor dette området. Emballasjemetoden til arbeidsstykket påvirker imidlertid også tykkelsen på belegget sterkt. Under feil klemming vil tykkelsen på belegget overstige området som er angitt av programmet.

Rotasjonsdimensjonen til arbeidsstykket påvirker beleggets tykkelse. Arbeidsstykkene må roteres i kammeret mens de er belagt. Det er tre rotasjonsmåter på arbeidsstykket: rotasjon med endimensjon, todimensjonal rotasjon og tredimensjonal rotasjon. For samme beleggingsprosedyre, jo mer rotasjonsdimensjoner, jo tynnere belegg. Tykkelsen til det todimensjonale spinbelegget er ca. 5 ganger tykkelsen til det tredimensjonale spinbelegget, og tykkelsen til det endimensjonale spinbelegget er ca. 1,5 ganger tykkelsen til det todimensjonale spinbelegget. Forutsatt en beleggtykkelse av en tredimensjonal rotasjon er 2um, og deretter er beleggets tykkelse på det todimensjonale roterende arbeidsstykket ca. 3um, mens beleggets tykkelse av endimensjonal roterende spinn kan nå 4,5 eller mer.

Når arbeidsstykket klemmes, påvirker arbeidsstykkets tetthet også tykkelsen på belegget. Beleggets tykkelse på arbeidsstykket der den er fastklemt intensivt, er liten, og arbeidsstykkets beleggtykkelse der den er sperret sparsomt, er stor.

Figuren over viser tykkelsesfordelingen av belegget på en enkelt tann på en kokeplate. Figuren under viser tykkelsesfordelingen av belegget i forskjellige posisjoner til en borer.

Dermed kan det ses at tykkelsen på forskjellige deler av verktøyet er sterkt påvirket av klemmen, så vi må bestemme klemmetoden basert på erfaring.