PECVD-substrattemperatur
Jul 10, 2023| Påvirkningen av substrattemperaturen på filmens kvalitet ligger hovedsakelig i den lokale statens tetthet, elektronmobilitet og optiske egenskaper til filmen. Økningen av substrattemperaturen er gunstig for kompensasjonen av suspensjonsbindingen på overflaten av filmen, og defekttettheten til filmen avtar.
Substrattemperaturen har liten effekt på avsetningshastigheten, men stor effekt på filmens kvalitet. Jo høyere temperatur, jo større tetthet av avsetningsfilmen, jo høyere temperatur forsterker overflatereaksjonen og forbedrer sammensetningen av filmen.
IKS PVD-selskap, dekorativ belegningsmaskin, verktøybeleggingsmaskin, DLC-beleggingsmaskin, optisk belegningsmaskin, PVD-vakuumbeleggingslinje, nøkkelferdig prosjekt er tilgjengelig. Kontakt oss nå, e-post: iks.pvd@foxmail.com
