Struktur og skjematisk diagram av molekylpumpen

Kjernekomponentene til molekylpumpen er roterende blad og stasjonære blad (figur 1). Rotasjonshastigheten til det roterende bladet når 1800 til 90000 rpm, hastigheten ved knivspissen når flere hundre meter per sekund, som ligger nær molekylets gjennomsnittshastighet. Og gassmolekyler blir transportert til eksosporten ved kollisjon med den. Når det roterende bladet som er satt til å være subtent roterer ved høy hastighet, er sannsynligheten for at gassmolekylene som beveger seg fra sugesiden til eksossiden, A, og sannsynligheten for at gassmolekylene beveger seg fra eksossiden til sugesiden er B. Det roterende bladet treffer gassmolekylene, og gassmolekylene treffer det faste bladet og flyter til neste roterende blad, til slutt blir gassmolekylet utstøpt til avgassporten, noe som gjør A> B til å oppnå eksosfunksjonen.

Eksoshastighet for molekylpumpen = Åpningsområde på suge side × 11,6 × A / Bp

I formel refererer p til økningsverdien av trykk.

Jo større av vinkelen på bladet, jo høyere av eksoshastigheten er mindre av kompresjonsforholdet. Hvis vinkelen på bladet er liten, er eksoshastigheten lav og kompresjonsforholdet er stort. Eksoshastigheten til molekylpumpen er nesten ikke påvirket av gassen, og pumpens ultimate trykk kan være 10-8 Pa, men eksoshastigheten reduseres for lette molekyler / atomer.

Som en slags mekanisk pumpe med høy rotasjonshastighet krever molekylpumpen høy balanse, og den er svært skjøre mot faste fremmedlegemer. Så vanligvis er et metallfilter installert ved innløpet av det. Når molekylpumpen fungerer, kan bladene bli skadet dersom trykket plutselig forverres.

Fig. 1 Struktur og skjematisk diagram av en molekylpumpe

Konvensjonelle molekylpumper bruker lagrene for å sikre høyhastighetsrotasjon av bladene. Men den nye type molekylpumpen vedtar magnetisk levitasjonsstruktur, noe som gjør bladets hastighet kontinuerlig økende, og samtidig er molekylpumpen mer egnet for det ultrahøyvakuumsystemet, og det forlenger også levetiden til den molekylær pumpe.

Sammenlignet med oljeforseglede roterende vingspumper og turbo-type tørre pumper, har molekylpumper et renere arbeidsmiljø, og det kan oppnå ekstremt høyt vakuumnivå. Imidlertid kan molekylpumper ikke operere ved atmosfæretrykk, og det må brukes i kombinasjon med andre utrullede vakuumpumper (oljetetnings roterende vingepumper eller turbo-tørre pumper) som kan operere ved atmosfærisk trykk. Molekylepumpen har komplisert struktur og høy pris, og det er vibrasjon under høyhastighetsrotasjon.