Struktur av motstands vakuummåler (Pirani vakuummåler)

Motstandsvakuummåleren, også kjent som Pirani-måleren, reflekterer trykkendringene basert på endringene av varm filamentmotstand. Den består hovedsakelig av måle- og målekretser. Måleområdet av det er 104 til 10-1 Pa.

Strukturen av motstandsmåleren er vist i figur 1. En sylindrisk spiral varm ledning som er viklet med en høytemperatur-koeffisient motstandstråd er innkapslet i regulatorhuset. Begge endene av den varme ledningen ledes ut av målerøret og kobler målebåndet. Målerhullet kan være laget av metall eller glass. Metallskallet har fordelene ved holdbarhet, praktisk fjerning av varme filamenter, etc. Ulempene er dårlig tetningsytelse og høy pris. Glassskallet har fordelene ved god tetningsytelse og lav pris, og ulempen er at den lett blir skadet.

Modstandstemperaturkoeffisienten og resistiviteten til noen motstands-ledninger som sårvarmetråd er vist i tabell 4-1, blant annet wolfram, platina og nikkel blir ofte brukt. For å sikre arbeidsstabiliteten til den varme ledningen, i tillegg til å rengjøre overflaten av den varme ledningen, blir det til tider et tynt lag av glass, kvarts eller tantal på overflaten av den varme ledningen for å unngå oksidasjon eller forurensning av det varme ledning når den brukes under høyt trykk. Men det antas at denne metoden vil øke sin termiske inerti.

Metall: Tungsten Platinum Nickel Chromium Iridium Molybden Iron Copper Silver

Motstandstemperatur

Koeffisient i 0 ℃ 4,82 3,9 6,0 4,1 4,71 6,0 4,3 4,29

(10 ^-3 · ℃ ^-1 )

Resistivitet i 0 ℃ 5.1 9.2-9.6 6.84 12.9 4.85 5.71 9.7 1.67 1.59

px10 ^-8 (Ω · m)

Tabell 4-1 Motstandstemperaturkoeffisient og resistivitet for enkelte metaller