Ultra høy vakuum enhet karakter og klassifisere
Oct 26, 2018| Ultrahøyvakuumaggregater som opererer over 10-5pa, inkluderer diffusjonspumpe, ultrahøyvakuumaggregat med molekylpumpe og oljefri ultrahøyvakuumenhet. Enheten har følgende egenskaper:
Maksimal vakuumgraden til hovedpumpen er høyere enn 10-7 ~ 10-8pa.
(2) kan tåle høy temperatur på 200 ~ 450 ℃ baking;
Det delvise trykket på returgassen til hovedpumpen er lavt.
For hovedpumpen med høy selektivitet skal den være utstyrt med en tilstrekkelig stor hjelpepumpe.
(1) ultrahøy vakuum enhet av diffusjonspumpe
Det ultimative støvvakuumet med ultrahøyvakuumaggregater med diffusjonspumper som hovedpumper er 10-7 ~ 10-8pa.
For å redusere innflytelsen av omvendt diffusjon av gass fra diffusjonspumpens fremre fase og omvendt diffusjon av mekanisk pumpeolje på den ultimate vakuumgraden, kan en diffusjonspumpe med en lavere pumpehastighet benyttes i forkant av diffusjonspumpen for å redusere kompresjonsforholdet og omvendt diffusjon. Hvis en titan-sublimeringsfelle legges til diffusjonspumpens innløp, kan nitrogenpartialtrykket fra diffusjonspumpen reduseres ytterligere, og et superhøyt vakuum på 10-11pa kan oppnås.
(2) ultra høy vakuum enhet av molekylær pumpe
Det maksimale vakuumet av ultrahøyvakuumaggregater, som hovedsakelig bruker molekylære pumper, er 10-8pa, som preges av hurtigstart og lav oljeforurensning.
Pumpehastigheten kan økes ved å legge til flytende nitrogen-kaldfelle i enheten. Utløpet til den mekaniske pumpe er forsynt med en kaldt vannfelle for å forhindre at oljedamp kommer inn i systemet.
(3) oljefri ultrahøy vakuum enhet
Vakuumenheten som ikke bruker olje for å lage arbeidsvæske og ikke tettere med organisk materiale kalles superhøyvakuumenheten uten olje. De vanligste hovedpumper inkluderer kryogenpumpe, titanpumpe, sputtering-ionpumpe etc. Sammenlignet med oljesugerenheten har den følgende fordeler:
Rent vakuum og ingen forurensningskilde kan oppnås.
Når oljevaksugpumpen startes, kan prepumpen isoleres.
Hvis ventilasjonen stopper plutselig, vil systemet ikke bli forurenset;
Det har ingen olje, ingen støy og ingen vibrasjon, noe som forbedrer arbeidsmiljøet.
Den terminale vakuumgraden er høy, pumpens hastighet er høy, og pumpetiden er kort.
